11/2 18:08	ランプの電源を入れる前に、ファンの電源を入れてください。入れないと爆発します。	担当者　関
1/9 20:04	MEMS-CR Wikiに<a href="http://www.mems.mech.tohoku.ac.jp/wiki/index.php?EVG%20Aligner" target="_blank">EVG Alignerのページ</a>を追加しました。	担当者　関
7/30 18:09	使用マニュアルが一部変更になりましたのでご注意下さい。詳細はマニュアルの注意書きを参照してください。	担当者　賀集
7/30 18:11	Oリングはマスクホルダーの脱着時に外れることが頻繁にありますのでマスクホルダーの脱着時にはOリングがなくなっていないかを確認してください。	担当者　賀集
7/30 18:12	スペアのOリングは装置のところにいくつかありますが無くなりましたら担当者までご連絡下さい。	担当者　賀集