12/25 19:50	装置整備中のため使用不可です。	担当：林、朝倉
12/25 19:52	所要時間の目安：スパッタのみ～２時間、ターゲット交換を含む～３時間	林、朝倉
1/15 18:21	金属のスパッタについては使用可能です。酸化物のご利用は今しばらくお待ち下さい	担当：林、朝倉
2/13 17:55	Target change as indicated	Jan
2/27 13:02	OUT OF ORDER!!! RF UNIT BROKEN !!?	Jan
2/27 13:02	Will replace the RF unit with unit from Miyagi Techn. C. for test.	Jan
2/28 15:00	New RF unit works. Thanx to H. Kikuchi, A. Kasuga and H. Abe for great support.	Jan
5/9 18:52	現在使用停止中です。( SHIBAURA Sputter is unavailable now.)	担当：林、朝倉
1/15 18:46	予約時間の目安：スパッタのみ～2時間、ターゲット交換を含む：～3時間	担当：林、朝倉
7/6 22:06	予約時間は0時から3時間単位とする．	担当：林、朝倉
7/6 22:07	ターゲット交換の場合はコメントに記載し（例：1. Cr→Al），区分に”ターゲット交換”を選択してください．	担当：林、朝倉
1/15 18:49	ターゲット交換後、「現在のターゲット」欄の更新をお願いします。	担当：林、朝倉
1/15 18:48	ターゲット交換を予定される場合、コメントにその旨を記載してください。（例：ターゲット交換 1. Cr→Al）	担当：林、朝倉
7/6 22:10	予約時間は0時から3時間単位とする．使用するターゲットを記載する．	担当：林、朝倉
7/6 22:13	ターゲット交換を予定される場合，コメントにその旨を記載してください（例：1. Cr→Al）．区分に”ターゲット交換”を選択してください．ターゲット交換後，「現在のターゲット」欄を更新してください．	担当：林、朝倉
2/13 17:59	Do not use sharp driver to take off target, it will scratch the O-Ring.	Jan
2/13 18:00	Check for electrical short between target and mounting ring!! Teflon-ring is sputerred with metal over time.	Jan
2/17 17:49	PLEASE dry the backside of the targets you take out, before you wrap them in aluminum foil!! Else they will corrode and water will leak soon!!	Jan
3/23 14:21	Nonmetal target can be used.	担当：林、朝倉
3/23 14:30	After using the nonmetal sample holder, please exchange it for the metal sample holder.	担当：林、朝倉
7/6 23:53	予約時間は午前0時から3時間単位とする．	担当：林、朝倉
7/6 23:54	スパッタのみ：コメントに，使用するターゲットを記載する．	担当：林、朝倉
7/6 23:56	ターゲット交換を予定される場合：＊コメントにその旨を記載してください（例：3. Cr→Al）．＊区分に”ターゲット交換”を選択してください．＊ターゲット交換後，「現在のターゲット」欄を更新してください．	担当：林、朝倉
7/6 23:59	7月9日（火）から，平日（月ー金），9:00-18:00の間，以下のルールを試行いたします：＊「Cr，Au」，もしくは 「Ti，Pt」の使用のみとし，ターゲットの交換をしないでください．＊9:00から 「Cr，Au」，もしくは 「Ti，Pt」になっていない場合，「Cr，Au」，もしくは 「Ti，Pt」への交換が可能です．＊ただし，15:00-18:00に使用者がいない場合，15:00からターゲットの交換が可能です．	担当：林、朝倉
7/10 18:09	ターゲット交換を予定される場合，コメントに，全てのターゲット情報をご記入ください．（例： 1.Cr,  2.Pt→SiO2, 3.Au）	担当：林、朝倉
7/30 18:45	8月2日（木）22：00～8月7日(火）9：00　定期停電とVBL大掃除に伴い，装置が一時使用停止となります．	担当者：林，朝倉
10/29 17:40	10/26に酸素添加にてＺｎＯをスパッタしました。当時他にTiとPtがついていましたので、次に使う方には長めのプリスパッタをお勧めします。特に酸化しやすいTiに関しては注意してください。また、次にTi,Ptを使った方はこのコメントを削除しておいてください。	江刺研　岩見
11/12 09:59	先週SHIBAURAスパッタを使った方が，「現在のターゲット」を更新していなかったようです。混乱の元になりますので，ご注意願います．	末永研　だて
11/23 16:20	現在，ガス漏れによる作業中止により，
チャンバー内にサンプルが放置してあります．	末永研　伊達