7/9 17:36    現在、真空引きできない状態です。復旧のめどは立っていません。 by 関
7/23 18:52 &nbsp;&nbsp;&nbsp;<b><font color="#ff0000">ターゲット交換したときは、2番にターゲットを記入して下さい。</font></b> by 関
7/23 18:54 &nbsp;&nbsp;&nbsp;<b><font size="5" color="#ff0000">ターゲット交換したときは、2番にターゲットを記入して下さい。</font></b> by seki
9/12 22:24 &nbsp;&nbsp;&nbsp;<img src="http://www.kagaku.com/eiko/products/sputtering/img/es_350su.jpg"> by 川合
9/12 22:28 &nbsp;&nbsp;&nbsp;<Bdo Dir="ltr">反対文字になります。</Bdo> by かわい
9/12 22:33 &nbsp;&nbsp;&nbsp;<Marquee><img src="http://www.kagaku.com/eiko/products/sputtering/img/es_350su.jpg"></Marquee> by kawai
9/12 22:36 &nbsp;&nbsp;&nbsp;<Marquee scrollamount="50" truespeed behavior="alternate"><img src="http://www.kagaku.com/eiko/products/sputtering/img/es_350su.jpg"></Marquee> by 関
9/12 22:43 &nbsp;&nbsp;&nbsp;現在、分解してあります。組み立てが終わり次第使用可能です。めどは立っていません。 by 関
2/1 11:10	ロードロックチャンバ側のターボポンプに異常発生　使用禁止にします	装置担当者