5/29 07:34 Please write target material you use when you make a reservation Goto(Fuku-tantosya) 5/29 17:02 Please write down the sputter temperture Andrew 8/28 21:00 Please write down the current target when changed H.Matsuo 9/27 18:29 Please change target at night as long as possible Tantosya 10/17 12:25 ターゲット交換は夜間に行ってください。(日曜、祭日は例外) 担当者 11/19 09:46 予約時は使用ターゲット、成膜温度を記入してください 担当者 11/30 18:31 Please use No.5 target for oxided material H.Matsuo