本装置は以下の装置と同時に使用することを禁止します。

・ANELVAプラズマSiN-CVD
・TEL LPCVD
・テクノファインAPCVD
・ULVAC WCVD

本装置を予約する場合は上記の装置にも必ず予約を入れて下さい。