-18	19	32	7122	藤井、多胡	dummy	0	2006/7/13/20:36:47(130.34.198.5)	LP-TEOS	2006/7/18/9:3:42(172.16.44.129)
14	36	46	5318	Hoshino	dummy	0	2006/7/14/6:50:13(130.34.231.209)	YOUTECプラズマCVD使用
18	19	21	7122	藤井、多胡	dummy	0	2006/7/13/20:36:47(130.34.198.5)	LP-TEOS
-18	26	38	7122	藤井、多胡	dummy	0	2006/7/18/9:4:31(172.16.44.129)	0	2006/7/18/14:26:55(130.34.198.5)
18	26	31	7122	藤井、多胡	dummy	0	2006/7/18/9:4:31(172.16.44.129)	0
19	26	32	6908	Sakaguchi	dummy	0	2006/7/18/20:34:54(130.34.95.37)	ユーテックCVD使用
25	19	30	7122	藤井、多胡	dummy	0	2006/7/20/11:10:46(130.34.198.5)	LP-TEOS
24	26	34	6908	Kikuchi	dummy	0	2006/7/24/9:16:31(130.34.95.37)	ユーテックＣＶＤ使用
-25	30	42	6909	beajicheol	dummy	0	2006/7/25/11:37:48(172.16.44.138)	Youtec P-CVD装置の使用	2006/7/25/18:44:51(172.16.44.138)
26	20	34	4830	三浦研　Nobuki Ueta	dummy	0	2006/7/25/14:7:59(130.34.95.30)	0
25	30	40	6909	beajicheol	dummy	0	2006/7/25/11:37:48(172.16.44.138)	Youtec P-CVD装置の使用