6/29 13:54	装置後ろのガス供給用樹脂配管が溶けたため、使用禁止。	藤原
7/19 06:09	パイロ酸化炉中段使用可能	山田(小柳研)
10/23 19:50	パイロ酸化炉中段でウェーハが割れたため、使用禁止	山田(小柳研)
11/18 21:10	パイロ酸化炉中段は現在使用可能(連絡が遅れてすいません)	山田(小柳研)