-3	20	34	6908	konno	dummy	0	2006/6/30/10:36:55(172.16.44.138)	0	2006/6/30/15:26:13(172.16.44.138)
4	22	32	6908	konno	dummy	0	2006/7/3/14:59:56(172.16.44.138)	Cl2ガス使用
4	36	44	5318	大竹　浩人	dummy	0	2006/7/3/15:56:2(130.34.231.209)	SiO2エッチング
5	20	24	6908	konno	dummy	0	2006/7/5/8:24:54(172.16.44.138)	0
6	26	36	6909	liang	dummy	0	2006/7/5/13:38:36(172.16.44.136)	0
11	24	36	6909	watanabe	dummy	0	2006/7/10/12:23:41(130.34.95.37)	O2-Ashing
11	42	48	6965	R.Ito	dummy	1	2006/7/10/21:3:21(130.34.95.31)	FABにてCl2ガスリークチェック
-12	0	30	6965	R.Ito	dummy	1	2006/7/10/21:4:49(130.34.95.31)	FABにてCl2ガスリークチェック	2006/7/11/23:24:36(130.34.95.31)
11	19	24	6908	Kikuchi	dummy	1	2006/7/11/8:54:32(130.34.95.37)	リークチェック
12	36	48	6908	Kikuchi	dummy	1	2006/7/11/11:34:42(130.34.95.37)	エッチングチャンバー　リークチェック
13	18	21	6908	Kikuchi	dummy	0	2006/7/11/11:35:45(130.34.95.37)	エッチングチャンバー　リークチェック
11	36	42	6909	kobayashi	dummy	0	2006/7/11/12:41:41(130.34.95.37)	0
13	42	48	6965	R.Ito	dummy	1	2006/7/12/13:0:32(130.34.95.31)	FABにてCl2ガスラインリークチェック
14	0	34	6965	R.Ito	dummy	1	2006/7/12/13:1:17(130.34.95.31)	FABにてCl2ガスラインリークチェック
13	21	26	6908	Kikuchi	dummy	1	2006/7/13/10:18:47(130.34.95.37)	エッチングチャンバー　リークチェック
18	22	38	6909	liang	dummy	0	2006/7/18/10:1:14(172.16.44.132)	0
18	44	48	6965	R.Ito	dummy	1	2006/7/18/18:53:49(130.34.95.31)	FABメンテナンスに使用
19	0	28	6965	R.Ito	dummy	1	2006/7/18/18:55:34(130.34.95.31)	FABメンテナンスに使用
19	34	42	6909	liang	dummy	0	2006/7/19/16:54:25(172.16.44.132)	0
20	26	34	6908	Sakaguchi	dummy	0	2006/7/19/19:32:9(130.34.95.37)	0
-20	34	42	6909	liang	dummy	0	2006/7/19/22:29:34(172.16.44.132)	0	2006/7/20/19:18:56(172.16.44.132)
20	34	41	6909	liang	dummy	0	2006/7/19/22:29:34(172.16.44.132)	0
21	26	34	6908	Sakaguchi	dummy	0	2006/7/20/20:4:55(172.16.44.138)	0
21	20	26	6909	liang	dummy	0	2006/7/21/10:8:19(172.16.44.132)	0
24	20	30	6908	konno	dummy	0	2006/7/21/13:3:36(130.34.95.43)	0
24	30	44	6908	Sakaguchi	dummy	0	2006/7/23/17:15:3(130.34.95.37)	Cl2/BCl3
25	22	36	6909	liang	dummy	0	2006/7/24/10:54:32(172.16.44.132)	0
25	36	40	6908	Sakaguchi	dummy	0	2006/7/24/23:26:46(130.34.95.37)	Cl2
26	20	36	6908	Sakaguchi	dummy	0	2006/7/25/18:13:9(172.16.44.138)	0
26	38	42	6908	Sakaguchi	dummy	0	2006/7/26/18:52:46(172.16.44.138)	0
27	22	40	6909	liang	dummy	0	2006/7/26/20:52:9(172.16.44.132)	0
27	40	46	6909	beajicheol	dummy	0	2006/7/27/15:31:46(172.16.44.138)	W-etching 条件だし
28	22	37	6909	beajicheol	dummy	0	2006/7/27/22:27:35(172.16.44.138)	W-etch(Cl2-50W)
30	22	32	5318	A.Ueno	dummy	0	2006/7/29/21:39:30(130.34.231.209)	0
31	34	40	5318	A.Ueno	dummy	0	2006/7/31/16:7:30(130.34.231.209)	0
31	42	46	5318	A.ueno	dummy	0	2006/7/31/19:52:57(172.16.44.129)	0