12	11	22	48	12	15	STS ICP RIE #2	江	関	38	44	0	7	932	江刺研
12	11	22	48	12	15	STS ICP RIE #2	江	せき	22	36	0	7	311	江刺研
12	11	13	37	12	11	FAB	電・伊藤	S.Fujii	38	46	0	9	473	電子工学伊藤研
12	11	13	06	12	14	SHIBAURAスパッタ#1	江	kasuga	36	42	2	9	763	江刺研
12	11	12	31	12	11	ANELVAスパッタ	桑	shibata	28	40	2	0	185	ナノメカニクス桑野研
12	11	11	59	12	13	SHIBAURAスパッタ#1	江	kasuga	30	42	2	9	580	江刺研
12	11	11	29	12	12	STS ICP RIE #2	江	nakamura	0	20	0	7	790	江刺研
12	11	10	22	12	11	パイロ酸化炉(中段)	エ・三浦	M. Otani	23	36	0	1	208	エネ安三浦研
12	11	9	32	12	11	ANELVAスパッタ	桑	shibata	40	48	2	0	418	ナノメカニクス桑野研
12	11	5	22	12	13	ANELVAスパッタ	桑	Miyashita	32	38	2	0	881	ナノメカニクス桑野研
12	11	5	18	12	14	SHIBAURAスパッタ#1	桑	Miyashita	30	36	2	9	777	ナノメカニクス桑野研
12	10	23	28	12	11	JEOLスパッタ	桑	Miyashita	24	32	2	1	308	ナノメカニクス桑野研
12	10	23	26	12	12	STS ICP RIE #2	桑	Miyashita	0	10	0	7	684	ナノメカニクス桑野研
12	10	23	26	12	12	SHIBAURAスパッタ#1	桑	Miyashita	0	12	2	9	294	ナノメカニクス桑野研
12	10	23	25	12	11	STS ICP RIE #2	江	Y.G. JIANG	26	48	0	7	938	江刺研
12	10	22	27	12	11	レーザー描画装置	江	kasuga	19	23	11	15	828	江刺研
12	10	22	16	12	15	FAB	羽	Katsube	0	48	0	9	917	羽根研
12	10	22	16	12	14	FAB	羽	Katsube	20	48	0	9	527	羽根研
12	10	19	22	12	10	レーザー描画装置	江	Tsukamoto	41	42	11	15	949	江刺研
12	10	18	44	12	14	STS ICP RIE #2	小	Kobayasi Risato	22	29	0	7	356	小柳研
12	10	18	43	12	11	STS ICP RIE #2	小	Kobayasi Risato	0	10	0	7	193	小柳研
12	10	18	17	12	10	FE-SEM	江	shao	39	44	5	0	455	江刺研
12	10	16	51	12	11	I線ステッパー	エ・三浦	Otani	42	48	1	1	912	エネ安三浦研
12	10	15	22	12	15	ANELVAスパッタ	エ・三浦	M. Otani	44	48	2	0	533	エネ安三浦研
12	10	14	12	12	11	EB蒸着	江	Tsukamoto	32	40	2	5	572	江刺研
12	10	14	11	12	11	SHIBAURAスパッタ#1	江	Tsukamoto	42	48	2	9	161	江刺研
12	10	13	41	12	10	JEOL EB 5000LSS	羽	sameshima	30	36	11	2	412	羽根研
12	10	12	46	12	14	ESSW3	電・山田	山田	21	33	8	2	311	電気山田研
12	10	12	42	12	10	電子ビーム 露光装置 (Hitachi HL800)	小	ki	28	38	1	0	905	小柳研
12	10	9	25	12	10	SHIBAURAスパッタ#1	小	yamada	21	30	2	9	910	小柳研
12	10	9	11	12	10	FAB	羽	Bulgan	26	38	0	9	358	羽根研
12	10	7	58	12	10	FAB	羽	Bulgan	24	38	0	9	169	羽根研
12	10	4	10	12	10	JEOL EB 5000LSS	羽	Bulgan	11	24	11	2	73	羽根研
12	10	3	57	12	11	FE-SEM	羽	Bulgan	0	3	5	0	216	羽根研
12	10	3	57	12	10	FE-SEM	羽	Bulgan	43	48	5	0	686	羽根研
12	10	2	09	12	10	ANELVAスパッタ	江	Kurahashi	7	18	2	0	269	江刺研
12	9	15	21	12	9	ANELVAスパッタ	坂	settsu	40	48	2	0	228	坂 研
12	9	15	21	12	10	ANELVAスパッタ	坂	settsu	0	12	2	0	23	坂 研
12	9	7	28	12	9	ANELVAスパッタ	エ・三浦	M. Otani	17	22	2	0	173	エネ安三浦研
12	9	4	58	12	9	ANELVAスパッタ	エ・三浦	M. Otani	12	40	2	0	685	エネ安三浦研
12	9	0	25	12	9	JEOL EB 5000LSS	羽	Bulgan	6	22	11	2	301	羽根研
12	8	18	07	12	10	FE-SEM	羽	Bulgan	43	48	5	0	919	羽根研
12	8	2	28	12	8	JEOL EB 5000LSS	羽	Bulgan	20	48	11	2	972	羽根研
12	7	23	00	12	8	SHIBAURAスパッタ#1	小	noriki	0	6	2	9	162	小柳研
12	7	22	36	12	8	JEOL EB 5000LSS	羽	Bulgan	0	28	11	2	462	羽根研
12	7	18	22	12	14	RF対向ターデットスパッタ(大阪真空)	江	中林	0	36	2	4	519	江刺研
12	7	18	22	12	13	RF対向ターデットスパッタ(大阪真空)	江	中林	0	48	2	4	824	江刺研
12	7	18	21	12	12	RF対向ターデットスパッタ(大阪真空)	江	中林	0	48	2	4	140	江刺研
12	7	18	20	12	11	RF対向ターデットスパッタ(大阪真空)	江	中林	16	48	2	4	179	江刺研
12	7	16	52	12	7	ANELVAスパッタ	江	Kurahashi	38	44	2	0	672	江刺研
12	7	15	45	12	7	JEOL EB 5000LSS	羽	Bulgan	34	36	11	2	22	羽根研