10/6 20:41    ﾏﾆｭｱﾙ借りています by 田中克洋
6/2 16:35    到達真空度が２〜３×１０E-5Torrまでしか上がりません。使用時にチャンバ内を掃除してから使用して下さい。 by 江刺研 川合