ANELVAスパッタ 日付 開始時間 終了時間 使用時間 研究室名 名前 パスワード 予約時刻(IPアドレス) コメント 4 22 24 2 金研八百研 Goto, Ha dummy 2006/12/27/18:35:34(130.34.248.197) Target change 1. Pt -> Cr 5 0 10 10 金研八百研 Goto, Ha dummy 2006/12/27/18:36:53(130.34.248.197) Target change 1.Pt -> Cr 5 10 20 10 金研八百研 Goto, Ha dummy 2006/12/27/18:39:48(130.34.248.197) Cr, Ti@RT 8 14 19 5 金研八百研 Lee dummy 2006/12/29/10:33:38(130.34.248.186) Cr, Ti, Al @R.T. 5 20 24 4 金研八百研 Lee dummy 2007/1/4/16:54:17(130.34.248.186) Cr, Ti, Al @R.T. 9 13 19 6 羽根研 zhao dummy 2007/1/5/11:8:3(130.34.95.31) Target change Ti→Au 10 10 16 6 羽根研 zhao dummy 2007/1/5/11:9:56(130.34.95.31) Al,Au@R.T. 9 19 24 5 羽根研 zhao dummy 2007/1/5/11:11:9(130.34.95.31) Target change 6 13 19 6 羽根研 zhao dummy 2007/1/6/13:7:9(130.34.95.31) Au,Al 6 21 24 3 羽根研 zhao dummy 2007/1/6/19:51:44(130.34.95.31) 0 7 11 19 8 羽根研 zhao dummy 2007/1/6/19:52:10(130.34.95.31) 0 10 19 22.5 3.5 流体研寒川研 A.ueno dummy 2007/1/9/19:22:20(130.34.231.209) Au@R.T 15 10 16 6 羽根研 zhao dummy 2007/1/10/19:32:31(130.34.95.31) Au,Al@R.T. 11 15 18 3 江刺研 hashimoto dummy 2007/1/11/12:18:16(130.34.95.43) Cr/Au@170℃ 13 7 11 4 ナノメカニクス桑野研 K.shibata dummy 2007/1/13/7:3:35(130.34.89.180) Ti, Pt, PZT @300℃ 13 11 13 2 ナノメカニクス桑野研 K.shibata dummy 2007/1/13/9:50:46(130.34.89.180) PZT@350℃ 13 22 24 2 ナノメカニクス桑野研 K.shibata dummy 2007/1/13/21:44:38(130.34.89.180) Ti, Pt, PZT @350℃ 14 0 2 2 ナノメカニクス桑野研 K.shibata dummy 2007/1/13/21:45:30(130.34.89.180) Ti, Pt, PZT @350℃ 14 14 17 3 江刺研 Kurahashi dummy 2007/1/14/13:10:19(130.34.95.43) Ti@70℃ 15 17 19 2 江刺研 Kurahashi dummy 2007/1/15/14:11:11(130.34.95.43) Ti@70℃ 16 8 11.5 3.5 羽根研 zhao dummy 2007/1/15/17:29:49(130.34.95.31) 0 16 18 21 3 ナノメカニクス桑野研 T.Sano dummy 2007/1/16/14:25:23(130.34.89.180) Al@R.T. 16 21 22 1 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/1/15/17:18:4(130.34.95.30) Al @R.T. 17 9 11.5 2.5 羽根研 zhao dummy 2007/1/16/21:39:54(130.34.95.31) 0 17 18 20.5 2.5 羽根研 zhao dummy 2007/1/16/21:56:35(130.34.95.31) 0 17 16 18 2 江刺研 Kurahashi dummy 2007/1/17/9:36:56(130.34.95.43) 0 18 18 23 5 江刺研 H.Matsuo dummy 2007/1/17/17:56:46(130.34.95.43) Target Change 1,Au->Pt & 320℃Bake 19 10 12.5 2.5 江刺研 H.Matsuo dummy 2007/1/17/17:59:33(130.34.95.43) Ti & Pt @320℃ 19 13 15 2 ナノメカニクス桑野研 T.Sano dummy 2007/1/18/20:55:7(130.34.89.180) Al@R.T. 23 20 24 4 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/1/19/11:18:15(130.34.95.30) Ti/Cu @300℃ 22 20 24 4 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/1/19/11:33:50(130.34.95.30) target change 1. Pt -> Cu 5. PZT -> Cr 320℃Bake 23 15 20 5 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/1/19/11:34:18(130.34.95.30) Cr/Cu @300℃ 22 10 13 3 江刺研 H.Matsuo dummy 2007/1/19/12:42:43(130.34.95.43) Ti & Pt @320℃ 20 6 11 5 ナノメカニクス桑野研 K.shibata dummy 2007/1/20/5:41:48(130.34.89.180) Ti, Pt, PZT @350℃ 21 6 8 2 ナノメカニクス桑野研 K.shibata dummy 2007/1/21/5:20:40(130.34.89.180) Ti, Pt, PZT @350℃ 21 15.5 16.5 1 江刺研 Kurahashi dummy 2007/1/21/16:56:0(130.34.95.43) Ti@70℃ (N2 flow) 22 14 16 2 江刺研 hashimoto dummy 2007/1/21/22:44:41(130.34.95.43) Ti/Pt@R.T 24 15 18 3 金研八百研 Lee dummy 2007/1/22/12:20:49(130.34.248.186) Cr @ R.T. 22 18 20 2 金研八百研 Lee dummy 2007/1/22/16:49:33(130.34.248.186) Pt @R.T. 24 12 14 2 江刺研 Kurahashi dummy 2007/1/22/18:35:18(130.34.95.43) 0 24 0 4 4 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/1/23/23:18:3(172.16.44.132) Cr/Cu @300℃ 24 21 24 3 江刺研 Randles dummy 2007/1/24/14:2:2(130.34.95.43) Target Change Cr/Au 25 10 13 3 江刺研 Faizul dummy 2007/1/24/14:9:43(130.34.95.43) Cr/Au Sputter 25 13 15 2 江刺研 Andrew dummy 2007/1/25/11:5:2(130.34.95.43) Cr/Au at 170C 26 13 16 3 ナノメカニクス桑野研 Kouji.S dummy 2007/1/25/22:44:3(172.16.44.132) Al@TR 29 19 21 2 ナノメカニクス桑野研 T.Sano dummy 2007/1/29/14:1:22(130.34.89.180) Al@R.T. 31 21 23 2 江刺研 Kurahashi dummy 2007/1/31/14:47:9(130.34.95.43) target change 3.Au -> Ti 26 18 21 3 ナノメカニクス桑野研 Sano dummy 2007/1/31/15:36:30(172.16.44.141) 0 1 11 13 2 江刺研 Kurahashi dummy 2007/2/1/0:25:52(130.34.95.43) TiN@70℃ 1 13 14 1 江刺研 Kurahashi dummy 2007/2/1/12:19:49(130.34.95.43) Ti @ 70℃ 1 20 21 1 江刺研 Kurahashi dummy 2007/2/1/18:51:2(130.34.95.43) TiN@70℃ 6 10 12.5 2.5 江刺研 H.Matsuo dummy 2007/2/5/17:47:40(130.34.95.43) Ti & Pt @320℃ 6 14 18 4 ナノメカニクス桑野研 K.shibata dummy 2007/2/6/2:41:7(130.34.89.180) Ti, Pt, PZT @350℃ 7 14 15 1 ナノメカニクス桑野研 田中 dummy 2007/2/7/10:21:56(130.34.89.180) PZT/Pt/Ti　　350℃ 7 15 16 1 ナノメカニクス桑野研 田中 dummy 2007/2/7/14:32:53(172.16.44.132) 0 11 15 18 3 羽根研 zhao dummy 2007/2/8/19:25:50(130.34.95.31) 0 9 13 14 1 ナノメカニクス桑野研 田中 dummy 2007/2/9/12:53:44(172.16.44.132) 0 9 14 15.5 1.5 ナノメカニクス桑野研 田中 dummy 2007/2/7/21:51:49(130.34.89.180) ＰＺＴ/Pt/Ti 350℃ 13 15 18 3 羽根研 zhao dummy 2007/2/13/10:45:42(130.34.95.31) 0 16 10 15 5 ??7124 imaizumi_ohmi_lab dummy 2007/2/14/11:59:31(130.34.75.68) Pt 15 15 18 3 江刺研 kawai dummy 2007/2/15/9:21:35(130.34.95.43) PZT@350\x{02da}C 24 10 14 4 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/2/15/13:27:54(130.34.95.30) Cu/Cr @R.T. 15 22 24 2 江刺研 kawai dummy 2007/2/15/22:44:5(130.34.95.43) PZT@350\x{02da}C 16 0 2 2 江刺研 kawai dummy 2007/2/15/22:44:42(130.34.95.43) PZT@315\x{02da}C 21 21 24 3 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/2/16/11:26:56(130.34.95.30) target change 1->Cu 3->Cr @ 330℃ 22 16 20 4 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/2/16/11:27:37(130.34.95.30) Cu/Cr @ 300℃ 16 15 16 1 ??7124 imaizumi dummy 2007/2/16/11:35:40(130.34.75.68) 成膜室大気開放の為、18:00まで真空引きになります。 17 5 8 3 ナノメカニクス桑野研 miyashita dummy 2007/2/16/20:39:29(130.34.89.180) 0 17 16 20 4 ナノメカニクス桑野研 miyashita dummy 2007/2/17/14:57:48(130.34.95.43) Cr 17 20 24 4 ナノメカニクス桑野研 miyashita dummy 2007/2/17/19:3:8(130.34.89.180) Cr,Au/Cr 18 16 18 2 ナノメカニクス桑野研 小貫 dummy 2007/2/18/16:7:34(130.34.89.180) Ag RT 18 18 24 6 ナノメカニクス桑野研 tanaka dummy 2007/2/18/16:8:53(130.34.89.180) target change 1.Pt 3.Ti 5.PZT 19 18 20 2 ナノメカニクス桑野研 田中 dummy 2007/2/19/2:57:33(130.34.95.43) PZT　Pt　Ti 350℃ 19 22 23 1 江刺研 Kurahashi dummy 2007/2/19/21:46:41(172.16.44.132) TiN@70℃ 22 23 24 1 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/2/20/20:49:27(130.34.95.30) Cu/Cr @ 300℃ 23 0 5 5 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/2/20/20:49:59(130.34.95.30) Cu/Cr @ 300℃ 24 16 20 4 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/2/20/20:51:31(130.34.95.30) Cu/Cr @ 300℃ 22 13 15 2 ナノメカニクス桑野研 miyashita dummy 2007/2/22/6:28:29(130.34.89.180) 0 22 20 23 3 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/2/22/18:30:19(172.16.44.210) Cu/Cr RT 24 14 16 2 エネ安三浦研 M. Otani dummy 2007/2/23/1:26:37(172.16.44.132) Cu/ Cr RT 23 13 15.5 2.5 ナノメカニクス桑野研 田中 dummy 2007/2/22/20:29:17(130.34.89.180) PZT　３５０度 23 18 21 3 江刺研 D.Satoh dummy 2007/2/23/16:6:6(130.34.95.43) Cr@R.T. 23 21.5 23 1.5 ナノメカニクス桑野研 田中 dummy 2007/2/23/21:42:28(172.16.44.132) PZT　350度 25 19 23 4 金研八百研 Lee dummy 2007/2/26/10:11:6(130.34.248.205) Cr @ R.T. 26 19 23 4 金研八百研 Lee dummy 2007/2/26/10:11:37(130.34.248.205) Cr @ R.T. 27 18 20 2 ナノメカニクス桑野研 田中 dummy 2007/2/27/17:15:23(130.34.89.180) 0 28 22.5 23.5 1 江刺研 Ho dummy 2007/2/28/22:22:40(130.34.95.43) 0 2 9 12 3 ナノメカニクス桑野研 田中 dummy 2007/2/27/22:25:12(130.34.89.180) PZT/Pt/Ti 350℃ 2 18 21 3 江刺研 H.Matsuo dummy 2007/3/2/9:53:19(130.34.95.43) Ti & Pt @320℃ 2 14 17 3 江刺研 Ho dummy 2007/3/2/11:17:30(130.34.95.43) 0 4 10 15 5 江刺研 nozawa dummy 2007/3/2/11:44:15(130.34.95.43) Cr/Au @170℃ 6 15 17 2 江刺研 Ho dummy 2007/3/5/10:10:38(130.34.95.43) TiN@70℃ 6 17 20 3 江刺研 Ho dummy 2007/3/6/10:31:52(172.16.44.132) Ti@70℃ 7 20.5 21.5 1 江刺研 Kurahashi dummy 2007/3/7/20:26:44(130.34.95.43) TiN@70℃ 8 19 20 1 江刺研 Kurahashi dummy 2007/3/8/16:39:31(130.34.95.43) TiN@70℃ 8 22 24 2 ナノメカニクス桑野研 shibata dummy 2007/3/8/22:10:56(172.16.44.132) PZT/Pt/Ti @350℃ 9 0 3 3 ナノメカニクス桑野研 shibata dummy 2007/3/8/22:11:21(172.16.44.132) PZT/Pt/Ti @350℃ 9 4 5 1 ナノメカニクス桑野研 shibata dummy 2007/3/9/4:1:28(172.16.44.132) PZT@350℃ 13 12 16 4 ナノメカニクス桑野研 K.shibata dummy 2007/3/13/0:8:50(130.34.89.180) Ti, Pt, PZT @350℃ 14 9 15 6 未来科学大見研 imaizumi dummy 2007/3/13/9:41:21(130.34.75.68) Ti,Pt 15 13.5 19 5.5 江刺研 Ho dummy 2007/3/15/13:33:14(172.16.44.132) W@RT 19 14.5 16 1.5 江刺研 H.Matsuo dummy 2007/3/19/13:13:21(130.34.95.43) Pt @ 320℃ 21 20 21 1 江刺研 Kurahashi dummy 2007/3/21/20:46:28(172.16.44.132) TiN@70℃ 22 23 24 1 江刺研 Kurahashi dummy 2007/3/22/23:3:3(172.16.44.132) TiN@70℃ 23 14 16 2 江刺研 Ho dummy 2007/3/23/14:11:41(130.34.95.43) 0 29 11 13 2 江刺研 Ho dummy 2007/3/29/11:4:32(130.34.95.43) W @ 70C 29 14 14.5 0.5 金研八百研 Lee dummy 2007/3/28/19:8:37(130.34.248.30) Pt/Ti @ R.T. 29 14.5 16 1.5 金研八百研 Lee dummy 2007/3/29/14:40:44(130.34.248.30) Ti @R.T. 30 17 19 2 江刺研 Ho dummy 2007/3/30/16:16:12(130.34.95.43) Ti @ RT, W @RT 30 19.5 21.5 2 江刺研 H.Matsuo dummy 2007/3/30/18:4:7(130.34.95.43) Ti & Pt @320℃ 3 13 16 3 江刺研 Ho dummy 2007/4/2/15:56:50(130.34.95.43) Cr , W 4 9 13 4 ナノメカニクス桑野研 shibata dummy 2007/4/4/8:49:40(172.16.44.132) Ti, Pt, PZT 5 10 13 3 江刺研 H.Matsuo dummy 2007/4/4/10:12:38(130.34.95.43) Pt @ 320℃ 4 13 15.5 2.5 ナノメカニクス桑野研 K.shibata dummy 2007/4/3/10:32:51(130.34.89.180) Ti, Pt, PZT @350℃ 4 20 20.5 0.5 坂 研 kato dummy 2007/4/3/15:50:22(130.34.95.28) Ti@70℃ 13 13 16 3 坂 研 settsu dummy 2007/4/12/19:22:31(130.34.95.28) Ta,Cu sputter@R.T. 18 16 18 2 坂 研 settsu dummy 2007/4/18/15:52:13(130.34.95.28) Ta,Cu sputter@R.T. 18 18 24 6 坂 研 settsu dummy 2007/4/18/16:35:57(172.16.44.210) 真空引き 19 15 15.5 0.5 坂 研 settsu dummy 2007/4/18/18:34:34(130.34.95.28) Ta,Cu sputter@R.T. 19 17 19 2 坂 研 settsu dummy 2007/4/19/16:57:21(130.34.95.28) Ta,Cu sputter@R.T. 24 10 14 4 江刺研 H.Matsuo dummy 2007/4/23/9:42:28(130.34.95.43) Ta & Pt @320℃ 24 15.5 24 8.5 江刺研 Andrew dummy 2007/4/24/13:18:43(130.34.95.43) Target Change Cr/Au 25 6 8 2 江刺研 Andrew dummy 2007/4/24/13:19:37(130.34.95.43) Cr/Au at 170C 26 13 19 6 ナノメカニクス桑野研 shibata dummy 2007/4/25/22:39:30(130.34.89.180) PZT/Pt/Ti @350℃ 26 11 13 2 金研八百研 Lee dummy 2007/4/26/0:15:27(130.34.248.213) Cr @R.T. 26 19 23 4 ナノメカニクス桑野研 shibata dummy 2007/4/26/17:13:23(172.16.44.132) PZT/Pt/Ti @350℃ 27 18 21 3 江刺研 k.hirano dummy 2007/4/27/10:39:21(172.16.44.132) Mo sputter@300℃ 28 18 21 3 江刺研 k.hirano dummy 2007/4/27/10:40:42(172.16.44.132) Mo sputter @300℃ 29 14 18 4 江刺研 k.hirano dummy 2007/4/29/13:7:12(172.16.44.132) Mo sputter @300℃