7/10 12:32    【注意】 トラブルが発生した場合は現状維持を心がけて下さい。追加コマンドにて状態が悪くなっていることが多々あります。 by T.Watanabe
7/10 12:30    パレットへのマスクセットの際にマスクの傾きに注意して下さい。 by T.Watanabe
7/10 12:29    キーボードのテンキー部分のEnterは使用しないで下さい。コマンドが入りません。 by T.Watanabe
7/10 12:35    【使用停止】 DPトラブルにより現在使用停止。 by T.Watanabe
8/7 17:58    現在、定期点検中 by T.Watanabe
6/6 08:40	復旧が完了しましたのでご使用頂けます。（2011年6月6日）	小島
	kojima
3/23 17:00	修理調整が終了しました。現在、1µm以上の描画可能です。
	kojima
7/31 17:52	立ち下げ終了しました。（2012/7/31）	kojima
	kojima
7/31 17:53	立ち下げ終了しました（2012/7/31）