9/7 20:31    現在、ステージが故障したため、使用不可です。 by 担当者　関
10/8 19:15	テストです	関
10/8 19:18	長文のテストです。ああああああああああああああああああああああああああああああああああああああああああああああああああああああああ	関
10/26 16:17	水銀灯の電源が故障したため、使用不可です。	担当者　関
1/9 20:01	MEMS-CR Wikiに<a href="http://www.mems.mech.tohoku.ac.jp/wiki/index.php?EVG%20Aligner">EVG Alignerのページ</a>を追加しました。	担当者　関
7/30 18:09	使用マニュアルが一部変更になりましたのでご注意下さい。詳細はマニュアルの注意書きを参照してください。	担当者　賀集
4/23 20:54	平行出し機構の修理を行いました。不具合がありましたら、担当者まで、連絡ください。	担当者　春園
9/3 13:14	露光の際、シャッターが閉じる時間が遅れる場合があります。注意して使用して下さい。	担当者 春園