表側の左右CCDカメラがぶつかると致命的なトラブルが発生します。 1.アライメントマーク間隔は16mm以上(できれば17mm以上)にする  (間隔16mm以下を合わせようとすると必ずぶつかります) If you can't read Japanese, please ask responsible parsons. 8/1 19:25 2012.7/26 ・自動ステージ故障のため、マニュアルステージに変更しました ・CCDカメラの移動方向とモニタの矢印方向を一致させました 平野