12/25 19:50 装置整備中のため使用不可です。 担当：林、朝倉
12/25 19:52 所要時間の目安：スパッタのみ～２時間、ターゲット交換を含む～３時間 林、朝倉
1/15 18:21 金属のスパッタについては使用可能です。酸化物のご利用は今しばらくお待ち下さい 担当：林、朝倉
2/13 17:55 Target change as indicated Jan
2/27 13:02 OUT OF ORDER!!! RF UNIT BROKEN !!? Jan
2/27 13:02 Will replace the RF unit with unit from Miyagi Techn. C. for test. Jan
2/28 15:00 New RF unit works. Thanx to H. Kikuchi, A. Kasuga and H. Abe for great support. Jan
5/9 18:52 現在使用停止中です。( SHIBAURA Sputter is unavailable now.) 担当：林、朝倉
1/15 18:46 予約時間の目安：スパッタのみ～2時間、ターゲット交換を含む：～3時間 担当：林、朝倉
7/6 22:06 予約時間は0時から3時間単位とする． 担当：林、朝倉
7/6 22:07 ターゲット交換の場合はコメントに記載し（例：1. Cr→Al），区分に”ターゲット交換”を選択してください． 担当：林、朝倉
1/15 18:49 ターゲット交換後、「現在のターゲット」欄の更新をお願いします。 担当：林、朝倉
1/15 18:48 ターゲット交換を予定される場合、コメントにその旨を記載してください。（例：ターゲット交換 1. Cr→Al） 担当：林、朝倉
7/6 22:10 予約時間は0時から3時間単位とする．使用するターゲットを記載する． 担当：林、朝倉
7/6 22:13 ターゲット交換を予定される場合，コメントにその旨を記載してください（例：1. Cr→Al）．区分に”ターゲット交換”を選択してください．ターゲット交換後，「現在のターゲット」欄を更新してください． 担当：林、朝倉
2/13 17:59 Do not use sharp driver to take off target, it will scratch the O-Ring. Jan
2/13 18:00 Check for electrical short between target and mounting ring!! Teflon-ring is sputerred with metal over time. Jan
2/17 17:49 PLEASE dry the backside of the targets you take out, before you wrap them in aluminum foil!! Else they will corrode and water will leak soon!! Jan
3/23 14:21 Nonmetal target can be used. 担当：林、朝倉
3/23 14:30 After using the nonmetal sample holder, please exchange it for the metal sample holder. 担当：林、朝倉
7/6 23:53 予約時間は午前0時から3時間単位とする． 担当：林、朝倉
7/6 23:54 スパッタのみ：コメントに，使用するターゲットを記載する． 担当：林、朝倉
7/6 23:56 ターゲット交換を予定される場合：＊コメントにその旨を記載してください（例：3. Cr→Al）．＊区分に”ターゲット交換”を選択してください．＊ターゲット交換後，「現在のターゲット」欄を更新してください． 担当：林、朝倉
7/6 23:59 7月9日（火）から，平日（月ー金），9:00-18:00の間，以下のルールを試行いたします：＊「Cr，Au」，もしくは 「Ti，Pt」の使用のみとし，ターゲットの交換をしないでください．＊9:00から 「Cr，Au」，もしくは 「Ti，Pt」になっていない場合，「Cr，Au」，もしくは 「Ti，Pt」への交換が可能です．＊ただし，15:00-18:00に使用者がいない場合，15:00からターゲットの交換が可能です． 担当：林、朝倉
7/10 18:09 ターゲット交換を予定される場合，コメントに，全てのターゲット情報をご記入ください．（例： 1.Cr, 2.Pt→SiO2, 3.Au） 担当：林、朝倉
7/30 18:45 8月2日（木）22：00～8月7日(火）9：00 定期停電とVBL大掃除に伴い，装置が一時使用停止となります． 担当者：林，朝倉
10/29 17:40 10/26に酸素添加にてＺｎＯをスパッタしました。当時他にTiとPtがついていましたので、次に使う方には長めのプリスパッタをお勧めします。特に酸化しやすいTiに関しては注意してください。また、次にTi,Ptを使った方はこのコメントを削除しておいてください。 江刺研 岩見
11/12 09:59 先週SHIBAURAスパッタを使った方が，「現在のターゲット」を更新していなかったようです。混乱の元になりますので，ご注意願います． 末永研 だて
11/23 16:20 現在，ガス漏れによる作業中止により，
チャンバー内にサンプルが放置してあります． 末永研 伊達
2/4 16:27 １３０分」ほど真空引きしましたが，圧力が十分に下がりませんでした．プラズマは立ちますが，何か問題があるかもしれません．ご注意ください． 末永研 伊達
2/17 11:10 2号機のターゲットと重ならないように、確認して予約してください。 小柳研 藤原
8/21 13:50 8.21 13:50 Water INバルブが閉まりきらないという問題のため、現在ターゲット交換はできない状況です。ご注意ください。（8/11の担当者メールより） By江刺研 秋山
Target exchange is available now because of the new Water-IN valve. 江刺研 秋山
8/28 21:33 川合先生がWaterINバルブを交換してくださり、ターゲット交換可能になりました。
8/28 21:36 川合先生がWaterINバルブを交換してくださり、ターゲット交換可能になりました。 江刺研 秋山
3/14 10:22 3番のCuターゲットがどうしても外れませんでした。ターゲット交換の際は1.2番を使うようにお勧めします。3番は担当者に対処してもらう予定です。 江刺研 春日
5/13 15:09 The Cu target was removed. Be careful that you don't need to much force you mount the target in the machine. Esashi Andrew
8/21 13:54 Water INバルブが閉まりきらないという問題のため、現在ターゲット交換は行えません。ご使用予定の方はご注意ください。 江刺研 秋山
12/17 11:59 WaterINバルブを交換しました、ターゲット交換可能にです。 江刺研 秋山
12/13 16:16 通常の成膜の場合，５時間まで，ターゲット交換を含む場合６時間まで，で予約してください．5x10^-4 Paまで要する時間：３時間 (2010.12.13現在) いのまた
12/13 16:17 通常の成膜の場合，５時間まで，ターゲット交換を含む場合６時間まで，で予約してください．5x10^-4 Paまで要する時間：３時間 (2010.12.13現在) 担当者：猪股
7/30 19:16 作業手順書他の設置が完了し利用可能となりました． 担当者：鳴海
6/1 15:05 マニュアルを改訂しました． 担当者：猪股
12/20 16:45 現在、#2の復旧作業に伴い、Cr、Auは#1では使用できません。明後日までには#2が復旧する予定です。 担当者
2/16 18:42 2010.02.19まで、Geターゲットは西沢記念センターへ移動します。Ge target is not available until 19th. 江刺研 森山
2/16 18:43 2010.02.19まで、Geターゲットは西沢記念センターへ移動します。Ge target is not available until 19th. 江刺研 森山
3/3 11:39 ターゲット交換前に水受けの水量を確認し，交換後は水受けの水を捨ててください．ターゲット交換時，30分で水受けの7分目程度，水がたまります． 担：いのまた
3/3 14:28 ターゲット交換前に水受けの水量を確認し，交換時は頻繁に水量を確認してください． 担：いのまた
12/19 22:58 通常の成膜の場合，4時間まで，ターゲット交換を含む場合5時間まで，で予約してください．5x10^-4 Paまで要する時間：3時間 (2010.12.19現在) 担当者：猪股
9/29 13:53 リフトオフ可能です。水冷ステージが有るShibaura#2がお勧めです。 担当者
12/16 13:14 12/16 The NiCr target will be changed for testing the sputtering conditions of Zn material. The user also will book a time (12/20) for the same testing again, if it is possible(12/19 is a deep cleaning day in the Esashi's Lab). Otherwise, user will cancel or extend the booking time. Weichih Lin
1/30 14:34 【ご案内：西澤センター】芝浦スパッタ(加熱型/冷却型)がご利用可能です。[Information:Nishizawa-Center]Shibaura sputtering machine in Nishizawa-C. is abaleavle. 西澤センター 森山
1/30 14:35 【ご案内：西澤センター】芝浦スパッタ(加熱型/冷却型)がご利用可能です。[Information:Nishizawa-Center]Shibaura sputtering machine (Heating/Cooling) in Nishizawa-C. is abaleavle. 西澤センター 森山
7/31 02:26 装置立ち下げました。 担当者
8/28 16:45 装置立ち上げました。 担当者
1/17 18:22 予約の際は使用ターゲットを記載して下さい。 担当者
1/17 18:23 【予約の際は使用ターゲットを記載して下さい。】 担当者
1/18 18:29 Now not available 担当者
Especially, when you change targets you must write
supervisor
2/4 09:58 when you book, please write the target which you use.
2/4 10:00 Especially, when you change targets you must write
supervisor supervisor
1/17 18:24 ※予約の際は使用ターゲットを記載して下さい。 担当者
2/4 10:00 when you book, please write the target which you use.Especially, when you change targets you must write supervisor
9/29 13:56 酸化物ターゲット、反応性スパッタの場合には専用ステージと専用ターゲットシャッターを使用してください。 担当者
2/4 09:56 When you guys use No Metal target, please use stage and shutter for No Metal. supervisor
7/31 16:22 ターゲットを交換した後，"現在のターゲット"の更新を忘れずに行ってください． 担当者：林，朝倉
2/7 15:17 #1のP-GUN1はCuで固定です。(The default target for P-GUN1 is Cu) supervisor
2/13 16:56 Now, Cu target is depleted. So not available Cu target. supervisor
2/16 09:25 SiNターゲットを2013/2/20まで、西澤センターで使用します。 西澤センター