2/17 11:11 2号機のターゲットと重ならないよう確認して予約してください。 小柳研 藤原 9/29 13:54 プラズマ耐性のない材料へのスパッタはお勧めしません。 担当者 1/30 14:38 【ご案内:西澤センター】芝浦スパッタ(加熱型/冷却型)がご利用可能です。
[Information:Nishizawa-Center]The Shibaura sputtering machine (Heating or Cooling) in Nishizawa-C. is available. 西澤センター 2/28 18:13 スパッタ前後にターゲットの消耗を必ず確認してください。 担当者 2/4 10:03 予約の際は使用ターゲットを記載してください。(when you book, please write the target which you use. Especially, when you change target you must write.) supervisor 2/4 10:04 酸化物ターゲット、反応性スパッタの場合には専用ステージと専用ターゲットシャッターを使用してください。(When you guys use No Metal target, please use stage and shutter for No Metal.) supervisor 2/4 10:08 ターゲットを交換した後、"現在のターゲット"の更新を忘れずに行ってください。(When you change target, please update "現在のターゲット") supervisor 2/7 15:17 #1のP-GUN3はCuで固定です。(The default target for P-GUN3 is Cu) supervisor