-3 20 30 6937 akiyama dummy 0 2008/9/2/18:16:12(172.16.44.130) Ti成膜, 2008/9/2/18:16:22(172.16.44.130) -3 20 30 6937 akiyama dummy 0 2008/9/2/18:16:51(172.16.44.130) TiO2ターゲット取り付け, 2008/9/2/18:16:57(172.16.44.130) 3 20 30 6937 akiyama dummy 0 2008/9/2/18:18:30(172.16.44.130) TiO2ターゲット取り付け, Ti蒸着 3 30 32 4771 Ishikawa dummy 0 2008/9/3/12:11:57(130.34.95.21) 操作説明のため延長 5 20 38 6937 akiyama dummy 0 2008/9/4/12:49:18(172.16.44.130) Ti&TiO2 5 38 44 6937 akiyama dummy 0 2008/9/5/16:58:12(172.16.44.130) O2の使用待ちで延長 8 26 36 4771 Ishikawa dummy 0 2008/9/7/18:54:42(130.34.95.21) SiO2 8 36 38 4771 Ishikawa dummy 0 2008/9/8/17:39:47(172.16.44.146) 0 10 20 36 6937 akiyama dummy 0 2008/9/9/15:59:46(172.16.44.134) TiO2蒸着 10 36 38 6937 akiyama dummy 0 2008/9/10/18:31:54(172.16.44.134) TiO2延長 10 38 48 6937 akiyama dummy 0 2008/9/10/18:36:48(172.16.44.134) 相談会をはさむため延長(TiO2) 16 12 24 6925 maegami dummy 0 2008/9/16/2:20:30(130.34.95.35) Ti/Pt 16 24 34 6925 maegami dummy 0 2008/9/16/10:18:10(130.34.95.35) Ti/Pt 17 24 36 6937 Tomokazu Takahashi dummy 0 2008/9/16/13:9:3(130.34.95.43) Ta/Pt/Au 17 40 48 6909 kaiho dummy 0 2008/9/17/15:43:42(172.16.44.145) Pt 18 0 4 6909 kaiho dummy 0 2008/9/17/15:43:58(172.16.44.145) Pt 18 19 21 6937 akiyama dummy 1 2008/9/18/9:33:31(172.16.44.135) シュルツゲージのチェック -18 34 38 6937 akiyama dummy 1 2008/9/18/16:26:21(172.16.44.135) シュルツゲージの交換 2008/9/18/16:36:48(172.16.44.135) 18 34 36 6937 akiyama dummy 1 2008/9/18/16:26:21(172.16.44.135) シュルツゲージの交換 18 36 38 6937 akiyama dummy 1 2008/9/18/16:37:38(172.16.44.135) 0 18 38 40 6937 akiyama dummy 1 2008/9/18/18:59:44(172.16.44.135) 真空引き確認のため延長 18 44 48 6909 kaiho dummy 0 2008/9/18/21:38:50(172.16.44.146) Au 19 0 6 6909 kaiho dummy 0 2008/9/18/21:39:18(172.16.44.146) Au 19 18 20 6937 akiyamna dummy 1 2008/9/19/8:51:45(172.16.44.135) シュルツゲージの較正 19 28 42 6937 akiyama dummy 0 2008/9/19/13:32:25(172.16.44.135) Ti -20 17 31 6937 akiyama dummy 0 2008/9/19/13:36:34(172.16.44.135) Ti, TiO2 2008/9/19/22:44:31(172.16.44.135) 22 21 39 6937 akiyama dummy 0 2008/9/22/9:27:30(172.16.44.130) Ti, TiO2 22 39 42 6937 akiyama dummy 0 2008/9/22/19:46:16(172.16.44.130) 0