-23	32	44	6937	T. Matsumura	dummy	0	2009/7/23/14:1:55(130.34.95.43)	装置確認作業	2009/7/23/14:2:0(130.34.95.43)
23	32	44	6937	T. Matsumura	dummy	1	2009/7/23/14:2:18(130.34.95.43)	装置確認作業
27	27	35	6937	kim	dummy	0	2009/7/24/13:28:28(130.34.95.43)	Pt/Ti@600
27	37	42	6937	KIM	dummy	0	2009/7/27/16:52:27(130.34.95.43)	Pt@600℃