5/29 07:34 Please write target material you use when you make a reservation Goto(Fuku-tantosya) 5/29 17:02 Please write down the sputter temperture Andrew 8/28 21:00 Please write down the current target when changed H.Matsuo 11/19 09:46 予約時は使用ターゲット、成膜温度を記入してください 担当者 8/6 09:43 ターゲット交換の際の真空引きは実験のコアタイムと重ならないよう夜間に行ってください。ただしヒータを使っていることを十分認識し翌日の朝必ずヒータを消すようにしてください。 KIM 8/18 19:49 火災後のMNC実験ルール変更に伴い、しばらくの間はターゲット交換を朝や昼に行うことを可能とします。 H.Matsuo 9/7 10:11 Please use No.5 target for oxided material and Ag H.Matsuo 10/23 11:31 装置担当が坂研に変わりました。In time of trouble, please contact to Saka Lab(6898). Nobe&Yasuda@Saka Lab 12/18 19:18 Please write down the SPUTTER TEMPERATURE Yasuda