8/16 06:59    反射波異常が発生したため使用禁止　8/16～ by Kobayashi Risato
6/6 08:41	復旧が完了しましたのでご使用頂けます。（2011年6月6日）	小島
7/30 15:23	立ち下げ終了しました。（2012/7/30）	小島
3/19 13:34	Don't use organic materials (Resist, Polyimide, and so on) in YOUTEC CVD	Kikuchi
12/27 09:00	300℃以上の温度に耐久性のある有機膜は搬入可能。
(ただし、専用ステージを使用すること。)	Kino