3	31	38	6909	jeong	dummy	3	2008/4/3/11:18:24(130.34.95.37)	プラスマCVD
14	32	40	6909	T.Konno	dummy	3	2008/4/14/14:28:7(130.34.95.37)	0
-14	42	46	6909	fukushima	dummy	0	2008/4/14/20:1:50(172.16.44.137)	P-CVD使用	2008/4/14/20:4:27(172.16.44.137)
14	42	43	6909	fukushima	dummy	0	2008/4/14/20:1:50(172.16.44.137)	P-CVD使用
14	43	46	6909	fukushima	dummy	3	2008/4/14/20:5:52(172.16.44.137)	0
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