3/17 14:03 ニッケルがチャンバー内に落ちているため基本的には使用中止です。 Kasuga
4/4 15:37 名前が中途半端に入ってしまいました。 AKAO
4/24 19:25 5/8～11は4時間×8回の予約ですが、混雑する場合は4時間×4回に変更することもできます。お急ぎの方はご相談ください。 岩見健太郎
4/24 19:33 5/8～10は4時間×4回+3時間×4回の予約ですが、混雑する場合は2回ずつに変更することもできます。お急ぎの方はご相談ください。 岩見健太郎
7/11 12:32 現在装置は使用不可です 担当者
2/8 06:47 Not available.
2/8 06:51 STS ICP RIE #2 is not available. 2010.02.08 担当者
Not available because of leak testing and operation check. 担当者
6/14 11:01 リークチェックおよび動作確認を行いますので、現在ご利用になれません。
6/14 11:03 Not available because of leak testing and operation check. 担当者
7/16 14:16 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintenancing. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 14:17 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintenancing. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 14:18 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintenancing. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 14:23 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintenancing. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 14:23 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintenancing. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 14:27 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintenancing. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 14:27 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintenancing. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 14:35 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintaining. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 16:28 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintaining. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 16:30 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintaining. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 16:30 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintaining. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 16:30 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintaining. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 16:30 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintaining. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 16:28 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintaining. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 16:32 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now not available. Reservations were deleted.2010.07.16 担当者
7/16 16:32 現在メンテナンス中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now maintaining. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
7/16 16:33 現在修理中の為、予約を削除しました。メンテナンス完了連絡の後に予約し直してください。Now not available. Reservations were deleted. 2010.07.16 担当者
10/13 16:02 10/20(水)のメカニカルクリーニングにご協力お願いします。 担当者
5/16 16:26 2011/5/16現在STS ICP RIE #2は装置復旧中のためご利用になれません 小野研川合
2/18 15:22 効率的に装置を使えるように、長時間予約していて、実験が早く終わった時はその旨連絡してください。 担当者
担当者
8/18 21:38 長時間予約していて実験が早く終わった時は、効率的に装置を使えるようにその旨連絡してください。
11/5 12:26 西澤センターにも住友製Deep-RIEがあります。使用したい方は、022-229-4223(森山、菊田)まで連絡して下さい。 西澤センター 森山
11/5 12:27 西澤センターにも住友製Deep-RIEがあります。使用したい方は、022-229-4223(森山、菊田)まで連絡して下さい。 西澤センター 森山
11/5 12:28 西澤センターにも住友製Deep-RIEがあります。使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田)まで連絡して下さい。 西澤センター 森山
11/8 16:07 西澤センターにも住友製Deep-RIEがあります。使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田)まで連絡して下さい。When you want to use Deep-RIE in the Nishizawa-Center, please contact Moriyama or Kikuta (tel:022-229-4113). 西澤センター 森山
1/18 17:42 西澤センターにも住友製Deep-RIEがあります。使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田)、またはメールで連絡して下さい。When you want to use Deep-RIE in the Nishizawa-Center, please contact Moriyama or Kikuta (tel:022-229-4113 or E-Mail). 西澤センター 森山
1/30 10:20 西澤センターにも住友製Deep-RIEがあります。使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田、戸津、渡辺、辺見)、またはメールで連絡して下さい。When you want to use Deep-RIE in the Nishizawa-Center, please contact Moriyama, Kikuta, Totsu, Watanabe or Henmi (tel:022-229-4113 or E-Mail). 西澤センター 森山
2/15 20:52 2012.02.17(Fri)夕方～02.19(Sun)午前中、西澤センターのDeep-RIEは6インチです。 西澤センター
now STS#2 is not available. don't make resarvation. 担当者
6/1 12:40 現在使用不可です。予約を勝手に入れないように。発見次第消去します。
When you want to use Deep-RIE(STS:Sumitomo) in the Nishizawa-Center, please contact Moriyama, Kikuta, Totsu, Watanabe or Henmi (tel:022-229-4113 or E-Mail).(2012.06.19) 森山
6/19 18:51 西澤センターに、住友製(STS)Deep-RIEが2台あります。使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田、戸津、渡辺、辺見)、またはメールで連絡して下さい。
1/30 10:21 西澤センターに住友製(STS)Deep-RIEがあります。使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田、戸津、渡辺、辺見)、またはメールで連絡して下さい。When you want to use Deep-RIE(STS:Sumitomo) in the Nishizawa-Center, please contact Moriyama, Kikuta, Totsu, Watanabe or Henmi (tel:022-229-4113 or E-Mail). 西澤センター 森山
7/20 11:04 ４時間以上予約するときは目的を記載するようにしてください。(e.g. 500µm以上深堀, 2 wafers....) 担当者
7/31 14:04 装置立ち下げ済み 担当者
8/17 20:01 装置立ち上げ 担当者
現在メカニカルクリーニングをおこなった直後ですので、これを最後に止めて頂きますよう、お願いします。
現在Ｏ２クリーン３０分を行った際の、チャンバー内圧は４５mTですので、参考にしてください。 小野研
11/19 13:46 プロセス後Ｏ２クリーンの時間が極めて短い（１分、３分など）ユーザーが最近、数名おります。
8/18 21:40 震災前とエッチング条件が異なる可能性があります。レートや選択比を観察して使うようにしてください。 小野研田中
9/29 13:47 プロセスやレシピ、サンプル等不安な場合はご相談ください。結構いろいろできちゃいます。 担当者
11/19 13:47 使用記録簿を見ると、プロセス後Ｏ２クリーンの時間が極めて短い（１分、３分など）ユーザーが最近、数名おります。現在メカニカルクリーニングをおこなった直後ですので、これを最後に止めて頂きますよう、お願いします。現在Ｏ２クリーン３０分を行った際の、チャンバー内圧は４５mTですので、参考にしてください。 小野研
11/20 13:01 最近、Ｏ２クリーンの時間が極めて短い（１分、３分など）ユーザーがおります。これではクリーニング出来ておりません。
現在Ｏ２クリーン３０分施工時のチャンバー内圧は４５ｍＴです。時間を短縮されたい方はこちらを参考にしてください。 小野研
11/20 13:02 最近、Ｏ２クリーンの時間が極めて短い（１分、３分など）ユーザーがおります。これではクリーニング出来ておりません。現在Ｏ２クリーン３０分施工時のチャンバー内圧は４５ｍＴです。時間を短縮されたい方はこちらを参考にしてください。 小野研
12/10 10:20 O2 is not available now. So you CANNOT use this machine. 担当者
12/18 18:27 西澤センターにSi Deep-RIEが3台(住友MUC-21 ASE-SRE 又は STS Multiplex-ICP SR)あります。使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田、戸津、鈴木、渡辺、辺見)、またはメールで連絡して下さい。
When you want to use Deep-RIE(Sumitomo or STS) in the Nishizawa-Center, please contact Moriyama, Kikuta, Totsu, Suzuki, Watanabe or Henmi (tel:022-229-4113 or E-Mail). 西澤センター 森山
6/19 18:55 西澤センターに住友精密製Deep-RIE:MUC21 ASE-SREが2台あります。使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田、戸津、渡辺、辺見)、またはメールで連絡して下さい。When you want to use Deep-RIE(STS:Sumitomo) in the Nishizawa-Center, please contact Moriyama, Kikuta, Totsu, Watanabe or Henmi (tel:022-229-4113 or E-Mail). 西澤センター 森山
12/18 18:32 西澤センターに住友精密製Deep-RIE:MUC21 ASE-SREが2台あります。(住友精密MUC-21 ASE-SRE 又はSTS Multiplex-ICP ASE-SR)使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田、戸津、鈴木、渡辺、辺見)、またはメールで連絡して下さい。When you want to use Deep-RIE(Sumitomo or STS) in the Nishizawa-Center, please contact Moriyama, Kikuta, Totsu, Suzuki, Watanabe or Henmi (tel:022-229-4113 or E-Mail). 西澤センター 森山
12/18 18:33 西澤センターに住友精密製Deep-RIE:MUC21 ASE-SREが2台あります。(住友精密MUC-21 ASE-SRE 又はSTS Multiplex-ICP ASE-SR)使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田、戸津、鈴木、渡辺、辺見)、またはメールで連絡して下さい。When you want to use Deep-RIE(Sumitomo or STS) in the Nishizawa-Center, please contact Moriyama, Kikuta, Totsu, Suzuki, Watanabe or Henmi (tel:022-229-4113 or E-Mail). 西澤センター 森山
12/18 18:34 西澤センターにSi Deep-RIE装置が2台あります。(住友精密MUC-21 ASE-SRE 又はSTS Multiplex-ICP ASE-SR)使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田、戸津、鈴木、渡辺、辺見)、またはメールで連絡して下さい。When you want to use Deep-RIE(Sumitomo or STS) in the Nishizawa-Center, please contact Moriyama, Kikuta, Totsu, Suzuki, Watanabe or Henmi (tel:022-229-4113 or E-Mail). 西澤センター 森山
12/18 18:34 西澤センターにSi Deep-RIE装置が３台あります。(住友精密MUC-21 ASE-SRE 又はSTS Multiplex-ICP ASE-SR)使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田、戸津、鈴木、渡辺、辺見)、またはメールで連絡して下さい。When you want to use Deep-RIE(Sumitomo or STS) in the Nishizawa-Center, please contact Moriyama, Kikuta, Totsu, Suzuki, Watanabe or Henmi (tel:022-229-4113 or E-Mail). 西澤センター 森山
12/18 18:54 西澤センターにSi Deep-RIE装置が３台あります(住友精密MUC-21 ASE-SRE 又はSTS Multiplex-ICP ASE-SR)。使用したい方は、022-229-4113(森山、菊田、戸津、鈴木、渡辺、辺見)、またはメールで連絡して下さい。When you want to use Deep-RIE(Sumitomo or STS) in the Nishizawa-Center, please contact Moriyama, Kikuta, Totsu, Suzuki, Watanabe or Henmi (tel:022-229-4113 or E-Mail). 西澤センター 森山
1/8 11:22 ↑公共の場につき広告はご遠慮ください 担当者
11/15 18:58 エッチング条件が変わった可能性がありますので、御利用の際は御注意下さい。 担当者