2	27	21	54	2	28	SHIBAURAスパッタ#1	医工・田中(徹)	tanikawa	0	12	2	9	836	医工学・田中(徹)研
2	27	20	41	2	27	レーザー描画装置	江	chu	44	45	11	14	789	江刺研
2	27	20	09	2	27	SHIBAURAスパッタ#1	医工・田中(徹)	tanikawa	43	48	2	9	717	医工学・田中(徹)研
2	27	19	48	2	28	ダイサー	小野	Toan	21	24	12	0	819	小野研究室
2	27	17	45	2	27	レーザー描画装置	江	chu	42	44	11	14	929	江刺研
2	27	15	50	2	27	FE-SEM	江	Kojima	34	37	5	0	686	江刺研
2	27	15	37	3	1	FAB	小野	seo	18	28	0	9	506	小野研究室
2	27	15	18	2	27	レーザー描画装置	江	Konno	34	37	11	14	637	江刺研
2	27	12	29	3	1	レーザー描画装置	小野	yamada	28	30	11	14	247	小野研究室
2	27	11	41	3	1	JEOL EB 5000LSS	小野	M.Toda	18	32	11	1	634	小野研究室
2	27	10	14	2	27	FE-SEM	羽	hokari	26	28	5	0	103	羽根研
2	27	9	32	2	27	レーザー描画装置	江	saito	24	28	11	14	443	江刺研
2	27	9	24	2	27	STS ICP RIE #2	小野	hayahsi	34	39	0	6	682	小野研究室
2	27	8	23	2	27	FE-SEM	小	konno	19	21	5	0	23	小柳研
2	27	6	26	2	27	ANELVA RIE #1	医工・田中(徹)	tanikawa	26	28	0	7	428	医工学・田中(徹)研
2	26	20	54	2	27	SHIBAURAスパッタ#2	小野	山田	26	32	2	10	450	小野研究室
2	26	20	44	2	27	SHIBAURAスパッタ#2	江	Kojima	40	46	2	10	60	江刺研
2	26	18	56	2	26	SHIBAURAスパッタ#1	医工・田中(徹)	tanikawa	40	48	2	9	694	医工学・田中(徹)研
2	26	18	36	2	27	ダイサー	江	Kojima	26	31	12	0	824	江刺研
2	26	18	34	2	27	研磨装置	江	Kojima	18	26	10	0	862	江刺研
2	26	17	05	2	27	STS ICP RIE #2	江	chu	29	33	0	6	809	江刺研
2	26	15	29	2	26	パイロ酸化炉(下段)	医工・田中(徹)	isoda	33	36	0	2	705	医工学・田中(徹)研
2	26	15	06	2	26	FE-SEM	羽	Mustafa	33	34	5	0	105	羽根研
2	26	11	50	2	27	XeF2エッチャー	医工・芳	ito	22	24	6	2	774	医工学 芳賀研
2	26	11	42	2	26	SHIBAURAスパッタ#2	江	Kojima	34	40	2	10	533	江刺研
2	26	11	07	2	26	ダイサー	江	Tsai	32	38	12	0	763	江刺研
2	26	8	09	2	26	レーザー描画装置	江	fukushi	19	27	11	14	873	江刺研
2	25	21	32	2	26	FE-SEM	小野	kobayashi	20	26	5	0	194	小野研究室
2	25	19	51	2	26	レーザー描画装置	小野	HE Liang	16	19	11	14	842	小野研究室
2	25	15	31	2	26	JEOL EB 5000LSS	小野	Saitoh	20	23	11	1	90	小野研究室
2	25	13	50	2	25	EVGボンダ	江	Frömel	30	32	0	12	158	江刺研
2	25	12	23	2	26	Cl2ボンベ	羽	y.abe	26	33	0	20	373	羽根研
2	25	12	23	2	26	ANELVA RIE #2	羽	y.abe	26	33	0	8	586	羽根研
2	25	12	00	2	25	レーザー描画装置	電・金子	suzuki	40	44	11	14	786	電子工学金子研
2	25	10	56	2	25	SHIBAURAスパッタ#1	小	onishi	28	36	2	9	800	小柳研
2	25	10	55	2	25	SHIBAURAスパッタ#1	小	yabata	24	28	2	9	93	小柳研
2	25	10	19	2	25	SHIBAURAスパッタ#1	小	onishi	28	36	2	9	774	小柳研
2	25	9	05	2	26	レーザー描画装置	江	fukushi	18	26	11	14	453	江刺研
2	24	12	36	2	24	STS ICP RIE #2	江	Hajika	28	34	0	6	158	江刺研
2	24	11	24	2	24	ESCA分析装置	江	hatakeyama	25	48	11	3	7	江刺研
2	23	19	19	2	27	JEOL EB 5000LSS	安藤	kawada	32	48	11	1	68	安藤研
2	23	15	06	2	23	JEOL EB 5000LSS	安藤	kawada, hatakeyama	33	36	11	1	920	安藤研
2	23	14	46	2	23	ダイサー	羽	S.Abe,T.Takahashi	32	34	12	0	23	羽根研
2	23	13	18	2	26	ANELVA RIE #2	羽	y.abe	21	28	0	8	806	羽根研
2	23	13	18	2	26	Cl2ボンベ	羽	y.abe	21	28	0	20	330	羽根研
2	23	9	11	2	23	JEOL EB 5000LSS	羽	T.Takahashi	28	32	11	1	826	羽根研
2	23	0	17	2	23	FAB	羽	T.Takahashi	32	36	0	9	963	羽根研
2	22	23	09	2	23	EB蒸着	羽	T.Takahashi	28	40	2	5	284	羽根研
2	22	21	16	2	22	TEL LPCVD	医工・田中(徹)	hashiguhci, noriki	45	48	0	17	381	医工学・田中(徹)研
2	22	21	06	3	20	SHIBAURAスパッタ#2	小野	inomata	0	36	2	10	295	小野研究室
2	22	18	38	2	25	ULVAC WCVD	小	nagai	18	36	0	18	607	小柳研