#rooms_begin
2号館CR	m2_cr
西澤センター	nishizawa_center
管理棟307号室	adm_307
管理棟308号室	adm_308
NICHe204号室	niche_204
#rooms_end

#begin=0
deep_rie	Deep RIE
nano_bio	ナノバイオ自動成膜装置
evg_bonder	EVGボンダー
dicer	ダイサー
lazer_dansakei	レーザー段差計
cu_mekki	Cuめっき装置
sn_mekki	Snめっき装置
logitec_kemma	ロジテック研磨装置
nanofactor_kemma	ナノファクター研磨装置
jushi_houmai_kemma	樹脂包埋試料研磨装置
#end

#begin=1
suss_aligner	SUSSアライナー
spray	スプレーコーター
spin	スピンコーター(SUSS)
evap_evg540	蒸着装置&EVG540(ボンダー)
evg_sv_nt	EVG Smartview NT(アライナー)
flip_chip_bonder	フリップチップボンダー
excima	エキシマ照射装置
raman	ラマン分光装置
3d_aligner	3次元アライナー
acid_alkali_draft	酸・アルカリドラフト
#end

#begin=2
prober	マニュアルプローバー&B1500
oscillo	オシロスコープ
net_ana	ネットワークアナライザ
curr_source	電流源
wire_bonder	ワイヤボンダ
impedance_analyzer	インピーダンスアナライザ
#end

#begin=3
nicholas	NICHOLAS
olga	OLGA
megadrive	Megadrive
#end

#begin=4
cascade_prober	カスケードマニュアルプローバー&B1500
micronics_prober	マイクロニクスマニュアルプローバー
peritec	ペリテック
new_oscillo	新オシロスコープ
old_oscillo	旧オシロスコープ
volt_source	電圧源
#end