10/21 09:44	10/18～使用停止	Nagai
8/7 16:44	2017.8.7～　現在コンスタントステージになっています。チップtoチップ接合を行いたい方は事前にご連絡ください。	中村
8/8 11:36	2017.8.8～　セラミックステージに交換しました。チップtoチップ接合可能です。	中村
8/24 17:59	2017.8.24　セラミックステージに交換しました。チップtoチップ接合可能です。	中村
6/15 16:20	2018.6.15(金)　現在コンスタントステージになってるため、チップtoチップ接合はできません。6/18(月)にステージ交換予定です。	中村
4/15 11:01	2014.04.10～極低圧ヘッド（～9.8N）になっています。	長井
4/17 17:15	2014.04.18～高圧ヘッド(9.8N～)にします。	長井
4/9 17:08	立ち上げ時にサーボアラームが出ることがあります。リセットしてアラームが出る前に装置本体PWR ONボタン長押しで解除されます。	長井
5/14 09:40	立ち上げ時のサーボアラーム解除の際にハードを操作する必要があります。ご使用の前に立ち上げておきますので、数日前に担当者までご連絡頂ければ幸いです。	長井
10/13 12:03	バッテリー交換済につき、立ち上げ時のアラームは解除されました。通常通り使えます。	長井