7/23 11:22	2014.07.23～部品修理が終了するまで高圧ヘッド(9.8N～)のみで運用します。	長井
7/6 08:30	2018.7.5～　セラミックステージヒータ故障のため、コンスタントステージをセット中。チップオンチップ接合可能です。ステージは加熱せず室温でご利用ください。	中村