8/2 09:04	2013.8.2現在　12インチ仕様になっています。8インチのボンディングはできません。	鷹觜
8/29 06:19	2013.8.28現在　EVG540は12インチ仕様になっています。8インチのボンディングはできません。	鷹觜
3/4 15:06	2014.3.4現在 EVG540は8インチ使用になっています。12インチのボンディングはできません。	柳村
3/7 13:19	2014.3.7現在 EVG540は8インチ使用になっています。12インチのボンディングは事前にご相談ください。	柳村
3/14 13:28	2014.3.14現在 EVG540は12インチ使用になっています。8インチのボンディングは事前にご相談ください。	柳村
9/18 09:00	150918~ EVGボンダー+SmartViewは装置チェック及び復旧が必要となるため使用できません。	担当者
9/18 09:05	150918~ EVGボンダー+SmartViewは装置チェック及び復旧が必要となるため使用できません。蒸着装置は使用可能です。	担当者