6	32	40	4119	柳村	dummy	0	2013/5/28/14:21:49(130.34.74.84)	蒸着装置
7	26	34	4119	柳村	dummy	0	2013/5/28/14:22:10(130.34.74.84)	蒸着装置
-11	20	34	4119	nagai	dummy	0	2013/6/5/10:52:19(130.34.74.84)	オペトレ込、８インチ×３枚	2013/6/10/18:34:0(130.34.74.84)
12	20	34	4119	nagai	dummy	0	2013/6/10/18:34:40(130.34.74.84)	蒸着装置　8inch*3枚
13	28	36	4119	柳村	dummy	0	2013/6/11/9:2:15(130.34.74.84)	蒸着装置
28	28	34	4119	柳村	dummy	0	2013/6/17/10:4:59(130.34.74.84)	蒸着装置
21	22	36	4119	柳村	dummy	0	2013/6/21/11:13:4(130.34.63.131)	蒸着装置
24	26	32	4119	柳村	dummy	0	2013/6/24/11:17:56(130.34.63.131)	蒸着装置
24	32	36	4119	柳村	dummy	0	2013/6/24/14:18:7(130.34.63.131)	蒸着装置