11	18	26	4119	柳村	dummy	0	2013/12/2/15:50:46(130.34.74.220)	蒸着装置使用
3	18	24	4119	柳村	dummy	0	2013/12/2/16:57:54(130.34.74.220)	蒸着装置使用
10	20	28	4119	nagai	dummy	0	2013/12/6/9:54:43(130.34.74.220)	オペトレ込、蒸着装置
17	17	23	4119	konno	dummy	0	2013/12/16/9:42:47(130.34.95.37)	evap