-4 26 38 4119 柳村 dummy 0 2013/9/27/9:18:32(130.34.74.220) 蒸着装置使用 2013/10/2/9:52:5(130.34.74.220) 3 18 36 4119 柳村 dummy 1 2013/9/30/9:25:4(130.34.74.220) EVGボンダーメンテナンス -5 26 36 4119 柳村 dummy 0 2013/10/2/9:52:24(130.34.74.220) 蒸着装置使用 2013/10/4/9:54:3(130.34.63.131) 5 26 36 4119 柳村 dummy 0 2013/10/4/17:16:34(130.34.63.131) 蒸着装置使用 23 26 34 4119 柳村 dummy 0 2013/10/18/11:10:47(130.34.74.220) 蒸着装置使用 29 18 30 4119 長井 dummy 0 2013/10/28/14:24:27(130.34.63.131) EVGボンダー使用