-11	22	36	4119	aizawa	dummy	0	2014/3/7/17:35:39(130.34.74.220)	0	2014/3/11/9:17:5(130.34.74.220)
27	22	36	4119	aizawa	dummy	0	2014/3/24/13:20:8(130.34.74.220)	２インチ２８０－６０⇒２２０umほど薄膜化　残６０（最終的には４０～５０）
28	30	36	6908	hashiguchi	dummy	0	2014/3/27/15:22:49(130.34.95.37)	sio2 cmp
-28	22	30	4119	aizawa	dummy	0	2014/3/27/15:43:54(130.34.95.37)	0	2014/3/28/9:58:0(130.34.95.37)
-31	28	36	4119	aizawa	dummy	0	2014/3/28/9:58:36(130.34.95.37)	0	2014/3/31/11:46:28(130.34.74.220)