10/2 22:48	当面は「金属チャンバーはレジストOK」、「非金属チャンバーはレジストNG」とします。	Kino
11/5 22:24	使用後10時間以内に次の利用者がいないときはポンプを立ち下げること！！	Kino
6/8 14:04	現在のターゲット(PM2):Si3N4,SiO2,Al203,SiO2	Lee
9/7 17:21	現在のターゲット(PM1):Au, Cr, Cu, Ti	takahashi