4	21	25	6909	ito	dummy	0	2014/2/4/9:50:8(130.34.95.37)	0
4	30	36	4119	onishi	dummy	0	2014/2/4/11:18:20(130.34.63.131)	Ti/Cu
5	25	34	6909	kino	dummy	1	2014/2/5/12:10:47(130.34.95.37)	0
-6	20	36	6909	ito	dummy	0	2014/2/6/0:22:54(130.34.95.37)	4ターゲットプリスパッタ,Ni条件だし	2014/2/6/0:23:1(130.34.95.37)
6	20	34	6909	ito	dummy	0	2014/2/6/0:24:24(130.34.95.37)	ターゲット交換後のプリスパッタ、Ni（条件出し）、逆スパNi/Au、逆スパ
-7	20	40	6909	ito	dummy	0	2014/2/6/23:6:23(130.34.95.37)	プラズマ耐性確認	2014/2/7/16:27:0(130.34.95.37)
7	20	35	6909	ito	dummy	0	2014/2/6/23:6:23(130.34.95.37)	プラズマ耐性確認
-12	18	20	4119	konno	dummy	0	2014/2/10/15:59:46(130.34.95.37)	0	2014/2/12/8:23:45(130.34.63.131)
12	18	19	4119	konno	dummy	0	2014/2/10/15:59:46(130.34.95.37)	0
17	18	20	4119	konno	dummy	0	2014/2/17/9:4:41(130.34.95.37)	0
24	41	44	6908	sugawara	dummy	0	2014/2/24/19:38:31(130.34.95.37)	0