8/23 00:14 オリフラタイプの8インチウェーハは使用しないこと。Heリークの原因 and リップシール劣化の原因になります。 担当者 11/5 22:24 使用後10時間以内に次の利用者がいないときはポンプを立ち下げること!! Kino