11/11 09:04 表面の2cm角用の左右のCCDカメラがぶつかると致命的なトラブルが発生する恐れがあります。アライメントを行う際には、以下を守ってください。 1.アライメントマーク間隔は16mm以上(できれば17mm以上)にする  (間隔16mm以下を合わせようとすると必ずぶつかります) 2.モニタのX軸の動作矢印方向は実際の動作と逆です!!最初に動かす時は微動モードでカメラの動きを観察しながら動作させてください。 If you can't read Japanese, please ask responsible parsons. 2011.11.11 Hirano 11/11 09:10 表側の左右CCDカメラがぶつかると致命的なトラブルが発生します。 1.アライメントマーク間隔は16mm以上(できれば17mm以上)にする  (間隔16mm以下を合わせようとすると必ずぶつかります) 2.モニタのX軸の動作矢印方向は実際の動作と逆です!!最初に動かす時は微動モードでカメラの動きを観察しながら動作させてください。 If you can't read Japanese, please ask responsible parsons. 2011.11.11 Hirano 11/11 09:12 1.アライメントマーク間隔は16mm以上(できれば17mm以上)にする  (間隔16mm以下を合わせようとすると左右カメラが必ずぶつかる) 2.モニタのX軸の動作矢印方向は実際の動作と逆です!!最初に動かす時は微動モードでカメラの動きを観察しながら動作させてください。 If you can't read Japanese, please ask responsible parsons. 2011.11.11 Hirano 11/11 09:13 注意 3/14 16:29 現在X,Θステージが動きません。手動にアライメントすること不可能ではありませんが、装置担当者に相談してください。2012/3/2 hirano 3/14 16:32 試料ステージのX軸Θ軸が動きません。手動でアライメントしたい方は担当者に連絡してください。 平野 2.モニタのX軸の動作矢印方向は実際の動作と逆です!!最初に動かす時は微動モードでカメラの動きを観察しながら動作させてください。 2011.11.11 Hirano