6/28 15:04    故障の原因ですが、やはりバキュームコントローラにあったようです。現在エリオニクスの方で部品の発注を行っており、今後修理を行う予定です。復旧までにはもうしばらくかかる見込みです。 by N.Matsuyama@Hane Lab 7/20 22:59    ビームブランキングユニット、基板の修理を行っています。 by N.Matsuyama@hane Lab. 9/19 18:55    ビームブランキングユニットの修理を行っています。 by N.Matsuyama@hane Lab. 7/20 22:59    現在使用禁止です。 by N.Matsuyama@hane Lab. 10/5 21:37    復旧しました。使用可能です。何か問題等ありましたらご連絡下さい。 by N.Matsuyama@Hane Lab. 1/23 15:47 2/9(金)より、定期メンテナンスのため使用不可となります。 N.Matsuyama@Hane Lab. 1/23 15:49 2/9(金)から2週間程度、定期メンテナンスのため使用不可となります。 N.Matsuyama@Hane Lab. 5/29 20:04 Elionix EBは現在使用可能です。ビーム電流が安定していないので、使用後の電流値を使用記録簿に記入して頂けると助かります。 Katsube @Hane Lab 2/9 16:15 現在使用禁止です。復旧までには2週間程度かかる見込みです。 N.Matsuyama@Hane Lab. 6/25 21:54 7月23日前後より、定期メンテナンスを行います。ご理解とご協力をお願いします。 Katsube @Hane Lab. 5/29 20:05 Elionix EBは現在使用可能です。ビーム電流が安定していないので、使用後の電流値を使用記録簿に記入して頂けると助かります。 Katsube @Hane Lab. 7/6 16:38 7/31より、今年度前期のメンテナンスを予定しています。期間はおよそ1~2週間です。ご理解とご協力をお願いいたします。 Katsube @Hane Lab. 8/10 12:16 Elionix EBは電子銃のトラブル点検の為、使用停止中です。復旧の目処が立ち次第、ここに掲示します。 Katsube@Hane Lab. 8/23 11:00 Elionix EBの調整が終わりました。テスト描画を行っていないため、23日以降に初めて装置を使用される方は勝部(羽根研:6965)までご一報下さい。 Katsube @Hane Lab. 8/23 11:02 Elionix EBの調整が終わりました。テスト描画を行っていないため、23日以降に初めて装置を使用される方は勝部(羽根研:6965)までご一報下さい。現在使用可能です。 Katsube @Hane Lab.