14	30	36	6965	N.Matsuyama	dummy	1	2006/9/14/14:43:12(130.34.95.31)	BPU取り付け、基盤取り付け
15	24	30	6965	N.Matsuyama	dummy	1	2006/9/15/11:56:37(130.34.95.31)	大気開放、pump立ち上げ
15	34	48	6965	N.Matsuyama	dummy	1	2006/9/15/23:49:28(130.34.95.31)	イオンポンプ立ち上げ、ヒーティング電流調整
16	36	42	6965	N.Matsuyama	dummy	1	2006/9/16/18:46:53(130.34.95.31)	バイアス設定、ビーム径測定
18	24	30	6965	N.Matsuyama	dummy	1	2006/9/19/18:56:14(130.34.95.31)	ビームブランクユニット点検