12/6 10:05 現在立ち上げ中です．使用可能になったらアナウンスします．
現在のターゲットは関君しか使えません．1番はHWCVD，2番は自衛隊，3番はKDDIで代用してください． いわみ
1/17 23:25 AuとCrは利用者が多いために交換しないようにお願いします。 Bｙ 樋口（担当者）
1/17 23:26 利用者が多いため、AuとCrはできるだけ交換しないで下さい。 樋口（担当者）
1/31 15:11 現在、修理中です。予約はしないでください。 樋口
2/26 16:57 記録簿に記入すること。 Abe
4/18 13:55 Auターゲットは現在使用できません。 樋口（担当者）
4/25 18:54 Auターゲット使用可能です。（メーリスに不具合があるようで、現在メールが流れていませんが、使用できます） 樋口（担当者）
5/2 16:10 現在、Tiターゲット使用できません。 樋口（担当者）
5/9 18:14 現在Tiターゲット使用できません。 樋口（担当者）
5/23 00:52 現在使用できません。 樋口（担当者）
2/5 23:33 利用可能となりました．ターゲットは1.Au,2.Cr,3.Tiを固定とし，これ以外を使用した場合は元のターゲットに戻しておいてください． 樋口（担当者）
5/11 17:57 利用可能となりました．ターゲットは1.Au,2.Ti,3.Crを固定とし，これ以外を使用した場合は元のターゲットに戻しておいてください． itasaka（担当者）
2/16 18:43 2010.02.19まで、Geターゲットは西沢記念センターへ移動します。Ge target is not available until 19th. 江刺研 森山
3/7 08:32 通常の成膜の場合，4時間まで，ターゲット交換を含む場合5時間まで，で予約してください．5x10^-4 Paまで要する時間：3時間 (2011.3.7現在) 担：猪股
2/26 16:58 記録簿（赤い表紙）に記入を忘れないこと。 Abe
5/31 16:16 サンプルホルダのネジを強く回しすぎないこと。完全に回らない場合はネジの長さを確認すること。 樋口（担当者）
7/30 19:16 作業手順書他の設置が完了し利用可能となりました．AuターゲットとO-ringも新品と交換済みです． itasaka(担当者）
3/3 11:37 Auターゲットは外す場合，必ず担当者にご連絡ください．Contact me before you change the Au target. inomata(担当者)
12/21 22:52 ターゲットは1.Au,2.Cr,3.Tiを固定とし，これ以外を使用した場合は元のターゲットに戻してください．特に2.Crは外さないでください． itasaka(担当者)
3/7 08:33 通常の成膜の場合，4時間まで，ターゲット交換を含む場合5時間まで，で予約してください．5x10^-4 Paまで要する時間：3時間(2011.3.7現在)．それ以上の時間を予約する場合，担当者までご連絡ください． 担：猪股
9/1 10:53 真空計不具合のため，現在利用不可です． いのまた
9/1 12:07 Not available now. inomata
12/15 09:27 使用可能なターゲットは純金属のみです。 kawai
12/15 09:28 反応性スパッタはShibauraスパッタ#1で行って下さい kawai
4/12 22:04 Au,Crターゲットは外す場合，必ず担当者にご連絡ください．Contact me before you change the Au or Cr target. 担：いのまた
9/29 21:39 P-GUN1,2のヘリサートが抜けてしまった場合は新しいヘリサートを使って固定をしてください。 担当者
6/9 18:07 予約時間：3時間まで，7.5x10^-4 Paまで要する時間：2時間(2011.6.9現在)．それ以上の時間を予約する場合，担当者までご連絡ください．Reservation time:<3hors, Time for vaccuming(<7.5x10^-4 Pa):2hours.when you take more time, contact me. 担：いのまた
9/30 17:32 P-GUN1,2のターゲット交換時，メスネジ側(ヘリサート)が抜けてしまうことがあります．その際は各自で新しいヘリサートを入れ直してください。 担当者
9/30 17:33 予約時間の目安：3時間，7.5x10^-4 Paまで要する時間：2時間(2011.6.9現在)．Reservation time:<3hors, Time for vaccuming(<7.5x10^-4 Pa):2hours. 担当者
9/29 13:52 リフトオフプロセスに利用できます。 担当者
9/29 13:50 酸化物ターゲット、反応性スパッタは基板ヒータのあるShibaura#1がお勧めです。 担当者
1/30 14:35 【ご案内：西澤センター】芝浦スパッタ(加熱型/冷却型)がご利用可能です。[Information:Nishizawa-Center]Shibaura sputtering machine (Heating/Cooling) in Nishizawa-C. is abaleavle. 西澤センター 森山
2/16 20:31 P-GUN(特に1,2)のヘリサート(メスネジ側)が破損することがあります．その場合は新しいヘリサートをご自身で入れ直してください．修理に莫大な労力を費やすことになるので，P-GUN1,2の交換はお勧めいたしません．The screw hole of P-GUN(especially, 1&2) may break when you change the target. then change the hole by yourself. we not recommend to change the target 1 & 2, because you spend enormous effort to do it. 担当社
10/3 11:43 P-GUN1,2のターゲット交換時，メスネジ側(ヘリサート)が抜けてしまうことがあります．その際は各自で新しいヘリサートを入れ直してください。when you breke the screw hole of P-GUN, repeare it by yourself. 担当者
3/21 10:50 現在の到達真空度は2x10^-2Paです．到達真空度や膜質を気にする方は別の装置をご利用ください．長時間の真空引きは無意味なので，ターゲット交換がない場合は3時間で，ある場合は4時間で予約してください．The vacuum level is 1x10^-2Pa. If you take care of the vacuum level or the membrane quality, use other machines or Nishizawa center’ s machine. Make a reservation with in 3 hours without target change, or 4 hours with target change. There is no point in long time evacuation. 担当者
12/25 23:59 プラズマ耐性のない材料へのスパッタはしないでください。 Abe
2/17 11:12 1号機のターゲットと重ならないよう確認して予約してください。 小柳研 藤原
11/6 14:15 予約時間の目安：3時間，7.5x10^-4 Paまで要する時間：2時間(2011.11.6現在)．Reservation time:<3hors, Time for vaccuming(<7.5x10^-4 Pa):2hours. 担当者
3/22 17:34 予約時間の目安：3時間，7.5x10^-4 Paまで要する時間：2時間(2012.3.22現在)．Reservation time:<3hors, Time for vaccuming(<7.5x10^-4 Pa):2hours. 担当者
6/30 14:05 #2のP-GUN1はAu，P-GUN2はCrで固定です．もし万が一変更した場合は元に戻してください．(The default target for P-GUN1 is Au, P-GUN2 is Cr. If you chabge them, turn them back to normal.) 担当者
3/22 10:12 万が一，リフトオフプロセスを行う場合，ハードベーク(145℃30分)を必ず行ってください．プラズマ耐性がないと，チャンバー内が汚染されます． 担当者
7/27 11:58 万が一，リフトオフプロセスを行う場合，ハードベーク(145℃30分)を行ってください．プラズマ耐性がないと，チャンバー内が汚染されます． 担当者
3/4 18:16 P-GUN 1，2を交換したい場合はまず担当(内：5810)にご相談ください．(If you want to change the P-GUN 1 or 2, contact me first.) 担当者
7/30 20:04 装置立ち下げました． 担当者
2/16 09:26 SiNターゲットを2013/2/20まで、西澤センターで使用します。 西澤センター