10/6 16:39 #2は,現在の非金属ターゲット用サンプルホルダーに対応していません. 担当者 1/30 14:37 【ご案内:西澤センター】芝浦スパッタ(加熱型/冷却型)がご利用可能です。
[Information:Nishizawa-Center]The Shibaura sputtering machine (Heating or Cooling) in Nishizawa-C. is available. 西澤センター 2/16 20:32 P-GUN(特に1,2)のヘリサート(メスネジ側)が破損することがあります.その場合は新しいヘリサートをご自身で入れ直してください.修理に莫大な労力を費やすことになるので,P-GUN1,2の交換はお勧めいたしません.The screw hole of P-GUN(especially, 1&2) may break when you change the target. then change the hole by yourself. we not recommend to change the target 1 & 2, because you spend enormous effort to do it. 担当者 5/29 15:04 予約時間の目安:3時間,7.5x10^-4 Paまで要する時間:2時間(2012.5.29現在).Reservation time:<3hors, Time for vaccuming(<7.5x10^-4 Pa):2hours. 担当者 6/30 14:13 #2のP-GUN1はAu,P-GUN2はCrで固定です.もし万が一変更した場合は元に戻してください.(The default target for P-GUN1 is Au, P-GUN2 is Cr. If you change them, turn them back to normal.) 担当者 7/27 12:11 万が一,リフトオフプロセスを行う場合,レジストにプラズマ耐性を持たせてください(例えば,145℃30分のハードベーク).プラズマ耐性がないと,チャンバー内が汚染されます. 担当者