6/30 09:54    ０時，４時，８時，１２時，１６時，２０時が予約の基準時間です．それ以外の時間から予約をスタートしないでください． by 桑野研担当者一同
7/24 12:35    現在，真空ポンプオイル漏れのため，使用不可 by 装置担当者
6/10 22:15    Please, keep the 4hour / term rule.  by choe,s-h
6/10 22:16    Do not reserve this machine over two terms in golden hours. by choe,s-h
9/25 11:14    現在使用不可です.　使用再開の連絡をお待ちください. by 桑野研担当者一同
10/20 11:39	反射が大きいため、現在使用禁止です	桑野研担当者一同
11/20 19:56	予約はイニシャルでなく，名前で，誰だか，わかるようにしてください	桑野研
2/6 16:03	現在１，２，３番ターゲットの回転台が故障して動かないため使用禁止です	桑野研担当者一同
2/19 23:46	２０日の予約者へ注意：放電が不安定。碍子を交換した。だめなら装置担当者に連絡が必要です。	安部
調整するまで気をつけてください。	桑野研担当者
3/10 18:52	Arガスのマスフローコントローラが不調です。
3/10 18:53	調整するまで気をつけてください。	桑野研担当者
4/23 11:35	サンプルホルダーのネジが一つ折れた状態です。使用する際にはサンプルホルダーの落下に注意してください。	桑野研担当者

・真空引きが遅くなっているのでマニュアルに記載してある圧力の設定値を守ってください。この際に、所要時間が長くなる可能性があるので使用時間５時間を目処に使用してください。

トラブルが起こったときは実験を中止し、担当者までに連絡をお願いします。	桑野研担当者
6/20 14:12    利用者多数のため，連続使用は４時間（スパッタ１回分）までというルールです．連続使用の方は土日，深夜などでご協力ください．  by 桑野研担当者一同
6/29 09:37    従来通り予約は0時から4時間毎に取るようにしてください（0時、4時、8時…）。 by S.Goto
10/16 22:31	Useage Guidelines: Use 4 hour blocks starting from 8AM until 8PM, from 8AM to 8PM use at maximum 4 hours at once	Andrew
2/21 12:48	２１日．放電チェックしました．１Au,2Cr,3Pt．１は１０sccmでプラズマたつ．2,3は４から５sccmでたつ．碍子交換，クリーニングしました．	田中
3/10 18:54	Arガスのマスフローコントローラが不調です。調整するまで気をつけてください。	桑野研担当者
5/30 17:03	真空引きが遅くなっているのでマニュアルに記載してある圧力の設定値を守ってください。この際に、所要時間が長くなる可能性があるので使用時間５時間を目処に使用してください。トラブルが起こったときは実験を中止し、担当者までに連絡をお願いします。	桑野研担当者
4/14 20:44	RFの不具合のため、使用停止です	桑野研担当者
6/16 16:22	真空引きをしっかりすることでAr流量が安定します．長めの真空引きでお願いします．	桑野研担当者
5/20 18:29	プラズマが立たない不具合のため、現在使用禁止です。	桑野研担当者
10/22 08:30	マッチングが取れないため、現在ご利用になれません。原因調査・修理が完了するまでお待ち下さい。	（江）秋山
7/30 17:46	修理が完了しました．長らくお待たせして済みませんでした	(桑)森
8/10 14:07	修理・動作チェックが完了し、現在ご利用可能です。　	(江）秋山
8/11 09:50	LIFTボタンを押してもチャンバーが持ち上がらないという問題が再発したため、現在ご利用になれません。	（江）秋山
1/7 20:43	現在、Ａｕターゲットの表面にレジストと思われる付着物がついてしまっています。これからプレスパッタで取り去る予定でしたが、現在クリーンルーム内に入れないためそのままになっております。再開後、取り去る予定ですが、もし私より早くＡｕターゲットを使用される方がいらっしゃいましたら、恐れ入りますが使用前のプレスパッタをお願いいたします。	akiyama
1/7 20:47	現在、Ａｕターゲット表面にレジストと思われる付着物が付いております。これからプレスパッタ予定でしたが、現在クリーンルームに入れないため、対応できておりません。再開後、Ａｕターゲットを長めにプレスパッタ予定ですが、私より早くＡｕターゲットを使用される方がいらしたら、恐れ入りますが長めのプレスパッタ後、ご利用下さい。	（江）秋山
7/30 17:49	現在，LIFTボタンを押してからチャンバが持ち上がるまで，かなり時間がかかります（10～20分程度）	(桑)森
8/17 10:04	Alターゲットを購入し、ターゲット入れに入れておきました。どうぞご利用下さい。	(江）秋山
12/21 11:41	現在ご利用可能です。	（江）秋山
2/18 13:16	B-Aゲージの値の振れが大きかったので、2時間くらいＢ－Ａゲージをdegasしました。現在、安定しています。	(江）秋山