7/9 17:36 現在、真空引きできない状態です。復旧のめどは立っていません。 by 関
7/23 18:52 ターゲット交換したときは、2番にターゲットを記入して下さい。 by 関
7/23 18:54 ターゲット交換したときは、2番にターゲットを記入して下さい。 by seki
9/12 22:24 
by 川合
9/12 22:28 反対文字になります。 by かわい
9/12 22:33 by kawai
9/12 22:36 by 関
9/12 22:43 現在、分解してあります。組み立てが終わり次第使用可能です。めどは立っていません。 by 関
2/1 11:10 ロードロックチャンバ側のターボポンプに異常発生 使用禁止にします 装置担当者
9/25 16:26 EIKOスパッタ修理のため、現在ご利用できません。
修理が完了しましたら、改めてご連絡いたします。 松村
9/25 16:27 修理のため、現在ご利用できません。申し訳ありませんが、修理完了までお待ちください。 松村
2/19 23:32 ターゲット番号を変更しました。(2010.02.19) Pt:4→5、Ru:5→4 森山
4/2 09:29 2010/4/2 20:00～ 4/6終日 メンテナンスの為使用できません。 森山
11/5 12:42 修理完了しました。どうぞお使いください。何か問題がありましたらご連絡ください。 松村
4/5 16:19 2010/4/2 20:00～ 4/7終日 メンテナンスの為使用できません。 森山
4/9 13:16 2010/4/9 メンテナンス終了。 江刺研 森山
10/12 22:21 ロードロック機構が故障している為、使用できません。 担当者
10/12 22:21 ロードロック機構が故障している為、使用できません。 担当者
10/12 22:22 ロードロック機構が故障している為、使用できません。Not available. 担当者
2/16 11:42 2011,02,16 No.3(Al-Si) is not available. M.Moriyama
2/27 12:32 All tarets are available. 2011.02.26 江刺研 森山
2/27 12:33 All targets are available. 2011.02.26 M.Moriyama
3/9 19:14 Now Not Available. 2012.03.09 西澤センター 森山
5/22 17:52 ロータリーポンプのメンテナンス中のため、現在使えません 装置担当者
5/25 08:18 ロータリーポンプの入れ替え中のため、現在使えません(5/25～5/31） 装置担当者
5/25 08:20 ロータリーポンプの入れ替え中のため、現在使えません(2012 5/25～5/31) 装置担当者
2/2 17:17 2013.2.1 - 現在、スパッタガンまわり清掃中のため、使えません。 装置担当者
2/7 14:29 2013.2.7-現在、RF電源、オートマッチャー点検修理のため、使えません 装置担当者
RF電源修理が完了するまで西澤センターの同型機は使えなくなりました。ご了承下さい。 装置担当者