9	26	48	6937	西澤センター　森山	dummy	1	2012/3/7/19:59:23(130.34.63.131)	基板温度調査
10	0	30	6937	西澤センター　森山	dummy	1	2012/3/7/19:59:53(130.34.63.131)	基板温度調査
-21	28	36	6898	Li	dummy	0	2012/3/16/7:52:25(130.34.95.28)	0	2012/3/19/9:46:34(130.34.95.28)