19	37	48	6937	KIM	dummy	0	2011/6/20/18:10:43(130.34.95.43)	Ti
-21	30	40	6937	KIM	dummy	0	2011/6/21/14:16:3(130.34.95.44)	Ti	2011/6/21/14:17:22(130.34.95.44)
21	30	31	6937	KIM	dummy	0	2011/6/21/14:16:3(130.34.95.44)	Ti
22	22	32	6937	KIM	dummy	0	2011/6/22/9:54:5(130.34.95.43)	Ti
22	37	48	6937	KIM	dummy	0	2011/6/22/17:42:6(130.34.94.149)	Ti
23	23	30	6937	KIM	dummy	0	2011/6/23/11:12:47(130.34.95.44)	Ti,　Pt
-28	26	32	6937	KIM	dummy	0	2011/6/27/22:44:54(130.34.95.43)	Pt	2011/6/28/9:32:31(130.34.95.43)
28	20	26	6937	KIM	dummy	0	2011/6/28/9:32:51(130.34.95.43)	Pt
28	39	46	6937	KIM	dummy	0	2011/6/28/18:54:25(130.34.95.43)	Ti, Pt
29	39	48	6937	Moriwaki	dummy	1	2011/6/29/16:46:57(130.34.95.43)	他装置の立ち上げに伴う、一時停止。
30	0	18	6937	Moriwaki	dummy	0	2011/6/29/16:47:46(130.34.95.43)	他装置の立ち上げに伴う、一時停止。およびベーキング。