19	28	32	6968	inomata	dummy	0	2009/5/19/13:47:40(172.16.44.146)	0
20	26	38	5810	金	dummy	0	2009/5/19/22:18:46(130.34.95.49)	Co ターゲットの設置およびスパッタレート測定
21	20	38	5810	金	dummy	0	2009/5/20/17:30:51(172.16.44.145)	Coスパッタレート測定及び真空引き
-27	20	32	5810	金	dummy	2	2009/5/26/19:3:1(130.34.95.49)	Co	2009/5/26/19:3:45(130.34.95.49)
26	20	32	5810	金	dummy	0	2009/5/26/19:4:6(130.34.95.49)	Co
28	26	38	5810	金	dummy	0	2009/5/27/23:15:3(130.34.95.49)	Co
28	38	42	5810	金	dummy	0	2009/5/28/13:8:34(130.34.95.49)	Co