10/22 19:02	現在温度プロファイル中の為使用できません。	Kino
11/15 15:34	ポンプ異常の為現在使用不可。	Kino
12/6 18:06	TEOS炉使用禁止	Kino
3/5 16:52	LP-TEOSのポンプメンテナンスのため使用禁止とします。	kino
3/5 16:51	LP-SiN,Polyのポンプオーバーホール中のため使用禁止とします。
	kino
6/7 05:37	TEOS使用禁止	Kino
12/4 09:46	TEOS使用禁止！！	kino
3/3 20:34	MFC故障の為、TEOS使用不可能	kino
9/12 02:27	現在３炉とも使用禁止！
Don't use all furnace!	Kino
5/24 20:17	RPは止めないでください。	kino
12/4 09:47	プログラム終了後RPが停止した場合は立ち上げる事！	kino
SiN,Poly-Si炉のポンプは止めないこと．	Kino
1/8 14:10	SiN炉使用禁止	Kino
4/1 19:52	Poly-Si炉洗浄のため使用禁止	Kino
2/9 00:34	TEOS使用方法に変更あり。2010年2月以降初めて使用する者は必ず担当者に使用方法を教わること。	kino
1/8 14:13	TEOS炉のポンプは使用後停止．
1/8 14:14	SiN,Poly-Si炉のポンプは使用後停止しないこと．	Kino
6/10 00:50	ただいま装置調整中。復旧までしばらくお待ち下さい。	kino