8/18 21:39 長時間予約していて実験が早く終わった時は、効率的に装置を使えるようにその旨連絡してください。担当者 9/29 13:46 金属付きのウェハも導入可能です。アライメントマーク等露出部分はレジストやポリイミドテープ等でできる限り隠してください。担当者 7/24 21:21 5時間以上予約するときは目的を記載するようにしてください。(e.g. 500µm以上深堀, 2 wafers....) 担当者 11/21 14:58 最近、Ｏ２クリーンの時間が極めて短い（１分、３分など）ユーザーがおります。これではクリーニング出来ておりません。担当者 12/19 17:17 西澤センターにSi Deep-RIE装置が３台あります(住友精密MUC-21 ASE-SRE 又はSTS Multiplex-ICP ASE-SR)。
使用したい方は、スタッフまで連絡して下さい。(Tel:022-229-4113、またはメール)
When you want to use Deep-RIE(Sumitomo or STS) in the Nishizawa-Center, please contact us (tel:022-229-4113 or E-Mail). 西澤センター　森山