2/7 22:24 故障のため使用できません 担当者
5/28 16:14 2010.05.28 Not available. M.Moriyama
6/2 19:39 現在リーク調査中により、使用できません。 江刺研 森山
6/8 15:45 [M.Box]OFF時の他、[Holder cool]OFF時にエラーが新たに発生します。しばらくすればエラー解除できますが、万が一解除できない場合はフローメータを軽く叩いて浮き子を降ろして下さい。 江刺研 森山
6/8 15:45 [M.Box]OFF時の他、[Holder cool]OFF時にエラーが新たに発生します。しばらくすればエラー解除できますが、万が一解除できない場合はフローメータを軽く叩いて浮き子を降ろして下さい。2010.6.8 江刺研 森山
6/14 21:23 [M.BOX FLOW CHALKER ERROR] only wait a minuets, and reset alarm.
[HOLDE FLOW CHALKER ERROR] Knock too lightly on the back and left of the mass flow meter. M.Moriyama
6/14 21:23 [M.BOX FLOW CHALKER ERROR] Only wait a minuets, and reset alarm.
[HOLDE FLOW CHALKER ERROR] Knock too lightly on the back and left of the mass flow meter. M.Moriyama
6/8 15:46 [M.Box cool]OFF時の他、[Holder cool]OFF時にエラーが新たに発生します。しばらくすればエラー解除できますが、万が一解除できない場合はフローメータを軽く叩いて浮き子を降ろして下さい。 江刺研 森山
6/14 21:23 [M.BOX FLOW CHALKER ERROR] only wait a minuets, and reset alarm.
[HOLDE FLOW CHALKER ERROR] Knock too lightly on the back and left of the mass flow meter, and reset alarm. M.Moriyama
7/13 15:12 2010.7.21～22メンテナンスを行います。都合の悪い方は連絡下さい。 江刺研 森山
7/22 17:41 フローメータの清掃を行いました。It was cleaned the flow meter of HOLDER COOLING.2010.07.22 江刺研 森山
7/22 17:41 フローメータの清掃を行いました。It was cleaned the flow meter of HOLDER COOLING.
2010.07.22 江刺研 森山
7/22 17:42 フローメータの清掃を行いました。It was cleaned the flow meter of HOLDER COOLING.2010.07.22 江刺研 森山
7/22 20:38 しばらくの間、使用後メインチャンバーの真空引きを行ったままにして終了して下さい。(装置の電源は落とさない) 江刺研 森山
7/27 10:54 Now not available. M.Moriyama
7/27 11:37 123
7/27 11:38 123
7/27 11:39 123
7/27 11:39 123
7/27 11:40 123
7/27 11:40 123
7/27 10:55 Now not available.2010.07.27 M.Moriyama
7/30 17:29 7/31(土)17:00以降使用可能予定です。
This will be available after 17:00 on 7/31 Saturday. M.Moriyama
7/27 11:42 現在利用できません。Now not available.2010.07.27 M.Moriyama
7/30 17:30 7/31(土)17:00以降使用可能予定です。This will be available after 17:00 on 7/31 Saturday. M.Moriyama
8/1 16:55 ANELVA-RIE#1 is available.利用可能です。 2010.08.01 江刺研 森山
8/1 16:56 ANELVA-RIE#1 is available.利用可能です。 江刺研 森山
10/1 20:10 10/1（Fri)21：00-10/5(Tue)13：00 Not available. M.Moriyama
3/4 00:47 SF6 ガスが利用可能となりました。SF6 gas is available.2011.03.03 M.Moriyama
3/4 00:48 SF6 ガスが利用可能となりました。SF6 gas is available.2011.03.03 M.Moriyama
3/4 00:49 利用可能ガス Available gas＜SF6,CF4,CHF3,Ar,O2>2011.03.03 M.Moriyama
3/4 00:51 利用可能ガス Available gas＜SF6,CF4,CHF3,Ar,O2>He cooling is available.
2011.03.03 M.Moriyama
3/4 00:52 利用可能ガス Available gas＜SF6,CF4,CHF3,Ar,O2>He cooling is available.2011.03.03
M.Moriyama
3/4 00:53 利用可能ガス Available gas＜SF6,CF4,CHF3,Ar,O2>He cooling is available.2011.03.03
M.Moriyama
3/4 00:53 利用可能ガス Available gas [SF6,CF4,CHF3,Ar,O2]He cooling is available.2011.03.03
M.Moriyama
3/4 00:54 利用可能ガス Available gas [SF6,CF4,CHF3,Ar,O2] He cooling is available. 2011.03.03
M.Moriyama
3/4 00:55 利用可能ガス Available gas SF6,CF4,CHF3,Ar,O2] He cooling is available. 2011.03.03
M.Moriyama
3/4 00:55 利用可能ガス Available gas SF6,CF4,CHF3,Ar,O2]He cooling is available.2011.03.03
M.Moriyama
3/4 00:55 利用可能ガス Available gas SF6,CF4,CHF3,Ar,O2
He cooling is available.2011.03.0 M.Moriyama
3/4 00:56 利用可能ガス M.Moriyama
3/4 00:56 利用可能ガス(Available gases) SF6,CF4,CHF3,Ar,O2 M.Moriyama
3/4 00:57 利用可能ガス(Available gases)：SF6,CF4,CHF3,Ar,O2 M.Moriyama
3/4 00:58 利用可能ガス(Available gases)：SF6,CF4,CHF3,Ar,O2He cooling is available. M.Moriyama
3/4 00:59 利用可能ガス(Available gases)：SF6,CF4,CHF3,Ar,O2
He冷却可能(Available He cooling)
2011.03.03 M.Moriyama
3/4 00:59 利用可能ガス(Available gases)：SF6,CF4,CHF3,Ar,O2
He冷却可能(Available He cooling)2011.03.03 M.Moriyama
3/4 01:00 利用可能ガス(Available gases)：SF6,CF4,CHF3,Ar,O2He冷却可能(Available He cooling)
2011.03.03 M.Moriyama
3/4 01:00 利用可能ガス(Available gases)：SF6,CF4,CHF3,Ar,O2He冷却可能(Available He cooling) 2011.03.03 M.Moriyama
3/8 17:53 O2クリーニング時のＲＦ出力は、プロセス出力以上で行って下さい。 M.Moriyama
Please be aware that you cannot use 'He cooling'. T. Naono
1/20 18:49 Because of chuck trouble, you cannot use. T. Naono
5/30 12:14 5/13 ANELVA RIE#1 is available.
5/30 12:15 Please be aware that you cannot use 'He cooling' T. Naono
11/24 10:12 You can use He cooling now. Thank you. T.Naono
10/6 11:11 10/5(Tue) 20:00 ANELVA RIE ＃1 is Available. T.Naono