11/18 13:33	以下の装置において、Cl2ガスを使用する際、Cl2ボンベの予約をしてください。

・Alエッチャー(小柳研)
・コンタクトエッチャー(ANELVA)(小柳研)
・FAB(羽根研)
	Ishikawa
11/18 13:34	以下の装置において、Cl2ガスを使用する際、Cl2ボンベの予約をしてください。
・Alエッチャー(小柳研)
・コンタクトエッチャー(ANELVA)(小柳研)
・FAB(羽根研)
	Ishikawa