以下の5つの装置において、Cl2ガスおよびBCL3ボンベを
使用する際は、ボンベも同時に予約をしてください。

・Alエッチャー(小柳研)
・Metal ICP(ANELVA)(小柳研)[搬入ドアに一番近い装置]
・STS#1(小柳研)
・FAB(羽根研)
・Metal RIE #2(江刺研)