7/11 15:57	RFコントローラ故障中	konno
8/27 09:51	現在、Bcl3ガスがレギュレータ故障のため使用できません。	konno
1/12 17:15	現在、O2ガス以外使用禁止!!(2010/1/11)	administrator
1/12 17:16	現在、O2ガス以外使用禁止!!(2010/1/12)	administrator
1/12 17:18	Don't use Cl2, BCl3, H2, CF4 gases!!(2010/1/12)	administrator
7/15 11:28	現在エッチングチャンバーは使用禁止です！！	administrator